[发明专利]一种偏振测量装置在审
申请号: | 201910252002.2 | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN109827522A | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 马辉;廖然;戴进才;刘枝迪 | 申请(专利权)人: | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 518055 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 偏振测量 光束接收单元 散射 偏振 散射光束 测量 准确度 测量效率 偏振数据 一次测量 多维度 入射光 出射 光轴 投射 平行 | ||
1.一种偏振测量装置,其特征在于,包括:光束出射单元和至少两个光束接收单元;
所述光束出射单元与所述光束接收单元沿光路依次设置;
所述光束出射单元用于提供偏振入射光束,并投射至被测微粒;
所述光束接收单元用于接收所述偏振入射光束经所述被测微粒散射后的预设角度的偏振散射光束;
其中,任意两个所述光束接收单元的光轴互不平行。
2.根据权利要求1所述的偏振测量装置,其特征在于,至少两个所述光束接收单元包括:第一光束接收单元和第二光束接收单元;
所述第一光束接收单元与所述第二光束接收单元关于所述光束出射单元的光轴对称,且所述第一光束接收单元的光轴与所述第二光束接收单元的光轴在所述被测微粒上相交。
3.根据权利要求2所述的偏振测量装置,其特征在于,所述第一光束接收单元的光轴与所述第二光束接收单元的光轴之间的夹角θ为120°。
4.根据权利要求1~3任一项所述的偏振测量装置,其特征在于,所述光束接收单元包括接收镜组和检偏器;
所述接收镜组包括相对设置的接收透镜和准直透镜;
所述预设角度的偏振散射光束在所述接收透镜的焦点聚合,并在焦点发散进入所述准直透镜,转换为平行偏振光束;
所述检偏器用于接收所述平行偏振光束,并对所述平行偏振光束的偏振态进行检测。
5.根据权利要求4所述的偏振测量装置,其特征在于,所述检偏器包括至少四个偏振检测通道;
至少四个所述偏振检测通道用于将接收的所述平行偏振光束划分为至少四个不同偏振方向的子偏振光束。
6.根据权利要求5所述的偏振测量装置,其特征在于,所述光束接收单元还包括光电转换器、信号采集子单元和数据处理器;
所述光电转换器的接收端与所述检偏器的输出端连接;所述光电转换器用于接收至少四个不同偏振方向的所述子偏振光束,并将各所述子偏振光束转换为对应的电信号;
所述信号采集子单元的输入端与所述光电转换器的输出端连接,所述信号采集子单元的输出端与所述数据处理器的输入端连接;所述信号采集子单元用于采集所述光电转换器转换的电信号,并发送至所述数据处理器进行分析处理。
7.根据权利要求6所述的偏振测量装置,其特征在于,所述光电转换器包括与至少四个所述偏振检测通道一一对应设置的光电倍增管;
所述光电倍增管用于接收对应的所述偏振检测通道传播的所述子偏振光束,并将所述子偏振光束转换为电信号。
8.根据权利要求4所述的偏振测量装置,其特征在于,所述接收镜组还包括位于所述接收透镜和所述准直透镜之间的小孔光阑;
所述小孔光阑的孔径中心与所述接收透镜的焦点重合;所述小孔光阑用于对所述接收透镜聚合的所述预设角度的偏振散射光束进行空间滤波。
9.根据权利要求4所述偏振测量装置,其特征在于,所述接收透镜和所述准直透镜之间的距离等于所述接收透镜的焦距f1和所述准直透镜的焦距f2之和。
10.根据权利要求1~3任一项所述的偏振测量装置,其特征在于,所述光束出射单元包括沿所述光路依次设置的光源、起偏器和光阑;
所述光源用于提供自然光;
所述起偏器用于将所述自然光转换为偏振光;
所述光阑用于限制所述偏振光的光束,以提供所述偏振入射光束。
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