[发明专利]磁力测量治具及采用该治具进行磁力测量的方法

说明书

本发明提供一种磁力测量治具及采用该治具进行磁力测量的方法。该治具包括：承载架；仪表安装座，被配置为用于安装磁力测量仪；所述仪表安装座与所述承载架配合连接，能够相对于所述承载架在第一平面内移动；连接结构，被配置为用于连接所述承载架与待测量的磁性元件，其中所述磁性元件沿第二平面设置，所述连接结构还被配置为能够调节所述承载架相对于所述磁性元件的水平度，使所述第一平面平行于所述第二平面。采用该磁力测量治具对蒸镀腔室内的磁板进行磁力测量，能够使磁力测量仪保持在一水平位置上进行磁力测量，无需手持磁力测量仪操作，以保证测量的准确性、方便性。

技术领域

本发明涉及显示器制造技术领域，尤其是指一种磁力测量治具及采用该治具进行磁力测量的方法。

背景技术

在有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称为OLED)显示器制造中，蒸镀工艺为必不可少的工艺过程。

如图1为蒸镀设备进行蒸镀的原理示意图，其中蒸镀设备包括：分别由下至上依次设置的蒸发源5、掩膜板4、基板3、冷却板2和磁板1，其中磁板1与冷却板2贴合连接，磁板1用于产生磁场，掩膜板4采用能够被磁场吸附的金属材料制成，利用磁板1所产生磁场对掩膜板4的吸附作用，避免掩膜板4的下垂。另外，待蒸镀的基板3设置于掩膜板4与冷却板2之间，在进行蒸镀时需要将待形成蒸镀材料的基板3与金属掩膜板4对位，使蒸发材料穿过掩膜板4上的对应图形区域沉积在基板3上，以制成所需要的材料层。

根据以上，磁板1作为蒸镀设备的蒸镀腔室的重要组成部分，其磁力的大小直接影响产品的良率，因此在应用于蒸镀之前需要进行磁力测量。

目前现有磁板的磁力测量方法，通常是采用将掩膜板与待蒸镀基板置于蒸镀腔室内，用磁力测量计直接在待蒸镀基板上测量的方式。采用该方式，人工操作磁力测量计测量距离磁板同一尺寸，但不同位置点的磁场强度大小时，会由于人为误差，造成测量的不准确；而且不同操作人员的测量也会存在很大偏差，因此无法得到准确的磁力大小。

发明内容

本发明技术方案的目的是提供一种磁力测量治具及采用该治具进行磁力测量的方法，用于解决现有技术对蒸镀腔室内的磁板的磁力测量不准确的问题。

本发明实施例提供一种磁力测量治具，其中，包括：

承载架；

仪表安装座，被配置为用于安装磁力测量仪；所述仪表安装座与所述承载架配合连接，能够相对于所述承载架在第一平面内移动；

连接结构，被配置为用于连接所述承载架与待测量的磁性元件，其中所述磁性元件沿第二平面设置，所述连接结构还被配置为能够调节所述承载架相对于所述磁性元件的水平度，使所述第一平面平行于所述第二平面。

可选地，所述的磁力测量治具，其中，所述承载架包括：

底座，设置有相对的两个滑动轨道；

滑动杆，两端分别与其中一所述滑动轨道配合连接；

其中，所述仪表安装座滑动地设置于所述滑动杆上，通过所述滑动杆沿所述滑动轨道移动，所述仪表安装座沿所述滑动杆移动，所述仪表安装座能够相对于所述承载架在所述第一平面内移动。

可选地，所述的磁力测量治具，其中，所述底座包括四边形的框体，两个所述滑动轨道分别沿所述框体的相对两个侧边设置。

可选地，所述的磁力测量治具，其中，所述仪表安装座上设置有插孔，通过所述滑动杆穿设于所述插孔内，所述仪表安装座能够沿所述滑动杆移动。

可选地，所述的磁力测量治具，其中，所述连接结构与所述承载架相连接的一端设置有螺栓，通过所述螺栓穿设所述承载架，并套设螺母，所述连接结构与所述承载架相连接；

其中，通过调整所述螺母，能够调节所述承载架相对于所述磁性元件的水平度。