[发明专利]一种MOCVD托盘的处理方法

说明书

本发明涉及一种MOCVD托盘的处理方法，主要根据AlAs材料易于氧化的特性，在托盘上镀覆AlAs材料和AlGaAs材料，方便后续对托盘处理时、可对托盘上的材料进行氧化，从根基对生长材料进行破坏，加快材料的脱落速率。同时，结合bake炉的高温处理特性，对材料行进二次处理，从而让材料更加容易处理，保证托盘的完整性与稳定性。

技术领域

本发明涉及一种对金属有机化合物气相沉淀(MOCVD)设备使用托盘的处理方法以达到使托盘能够快速简易清理的目的，属于半导体技术领域。

背景技术

伴随着现代社会的发展，资源问题日益突出，如何能够寻找无污染、可再生的资源成为摆在我们面前的首要问题，可持续发展与生态环境的保护也日益成为我们工作关注的重点。如何在不耽误现有生产力的基础上，找到更好的能源替代者，或者减少能源消耗，已经逐渐的成为了我们现有工作的方向。

于是在这种情况下，基于LED的特性，它开始得到广泛的应用。LED的内在特征决定了它是最理想的光源去代替传统的光源，以达到我们节能降耗的目的。LED有着广泛的用途以及不可替代的优势：一、体积小，LED基本上都是一块很小的晶片被封装在环氧树脂里面，所以它非常的小，非常的轻；二、耗电量低，LED耗电相当低，一般来说LED的工作电压是2-3.6V。工作电流是0.02-0.03A。这就是说：它消耗的电能不超过0.1W，这就为我们在能源方面的工作提出了指导性的意义；三、使用寿命长，LED光源固体冷光源，环氧树脂封装，灯体内也没有松动的部分，不存在灯丝发光易烧、热沉积、光衰等缺点，在恰当的电流和电压下，使用寿命可达6万到10万小时，比传统光源寿命长10倍以上；四、高亮度、低热量，LED使用冷发光技术，发热量比普通照明灯具低很多；五、环保，环保效益更佳，光谱中没有紫外线和红外线，既没有热量，也没有辐射，眩光小，而且废弃物可回收，没有污染不含汞元素，冷光源，可以安全触摸，属于典型的绿色照明光源LED是由无毒的材料作成，不像荧光灯含水银会造成污染，同时LED也可以回收再利用；六、坚固耐用，LED是被完全的封装在环氧树脂里面，它比灯泡和荧光灯管都坚固。灯体内也没有松动的部分，这些特点使得LED可以说是不易损坏的；七、高节能：节能能源无污染即为环保。直流驱动，超低功耗(单管0.03-0.06瓦)电光功率转换接近100％，相同照明效果比传统光源节能80％以上；八、多变幻，LED光源可利用红、绿、蓝三基色原理，在计算机技术控制下使三种颜色具有256级灰度并任意混合，即可产生256×256×256＝16777216种颜色，形成不同光色的组合变化多端，实现丰富多彩的动态变化效果及各种图像。

由于LED具有如此不可忽略与替代的优势，如何制造出高亮度、符合我们要求的产品又成为我们的工作重点。金属有机物化学气相沉积(Metal Organic Chemical VapourDeposition，简称MOCVD)设备是目前世界范围内进行所有半导体化合物生长的成熟技术。

MOCVD技术自二十世纪六十年代首先提出以来，经过七十至八十年代的发展，九十年代已经成为砷化镓、磷化铟等光电子材料外延片制备的核心生长技术。目前已经在砷化镓、磷化铟等光电子材料生产中得到广泛应用。

外延技术与设备是外延片制造技术的关键所在，金属有机物化学气相淀积(Metal-Organic Chemical VaporDeposition，简称MOCVD)技术是生长III-V族，II-VI族化合物及合金的薄层单晶的主要方法。II、III族金属有机化合物通常为甲基或乙基化合物，如：Ga(CH3)3，In(CH3)3，Al(CH3)3，Ga(C2H5)3，Zn(C2H5)3等，它们大多数是高蒸汽压的液体或固体。用氢气或氮气作为载气，通入液体中携带出蒸汽，与V族的氢化物(如NH3，PH3，AsH3)混合，再通入反应室，在加热的衬底表面发生反应，外延生长化合物晶体薄膜。

MOCVD设备作为能够进行快速大量生产的设备，在市场上收到广泛好评。而托盘作为承载生长的介质，如何能够保证快速且高效的处理托盘，为生长提供一个稳定的条件，就成为限制批量生长的条件。