[发明专利]溅射靶材及其使用方法

权利要求书

1.一种溅射靶材，其特征在于，该溅射靶材包括：

一背板，具有一上表面；

一溅射板，设置在该上表面上，并具有一溅射板边缘；

一保护单元，设置在该上表面上，并相邻该溅射板边缘。

2.如权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于，该上表面具有至少一凹口，该保护单元是可卸除地设置在该至少一凹口中。

3.如权利要求2所述的溅射靶材，其特征在于，该背板具有二该凹口，二该凹口彼此隔开地配置在该背板的该上表面上，二该凹口分别对应该溅射板的相对两侧，二该凹口皆设有该保护单元。

4.如权利要求1所述的溅镀靶材，其特征在于，该溅射板的材质为金属或氧化物，或该背板的材质为金属。

5.如权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于，该保护单元满足至少一项选自下列(1)～(10)的结构特征：

(1)该保护单元的材质为金属；

(2)该保护单元的高度介于0.1mm至4mm；

(3)该保护单元的宽度介于90mm至190mm；

(4)该保护单元的长度介于90mm至3000mm；

(5)该保护单元的宽度不小于该溅射板的宽度且不大于该背板的宽度；

(6)该保护单元的长度不大于该背板的长度；

(7)该保护单元的高度占该背板的高度的0.5％至20％；

(8)该保护单元的宽度占该背板的宽度的47％至100％；

(9)该保护单元的长度占该背板的长度的3％至100％；

(10)该保护单元有一保护部侧面，该溅射板具有一溅射侧面，该溅射侧面与该保护部侧面互相面对或直接接触，并具有互补的形状。

6.如权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于，该保护单元包括一第一保护部及一第二保护部，该第一保护部或该第二保护部满足至少一项选自下列(1)～(3)的结构特征：

(1)该第一保护部露出于该溅射板，该第二保护部乘载该溅射板并与该溅射板重叠；

(2)该第一保护部与该第二保护部相连接；

(3)该第一保护部具有一凸部，该凸部凸出于该背板且并列该溅射板，或该凸部的高度低于该溅射板的高度。

7.如权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于，更包括一固定件，用以将该保护单元固定至该背板，其中该固定件包括螺丝、插栓、或黏着剂。

8.如权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于，更包含一中间保护单元，其中该中间保护单元包括一第一保护部及一第二保护部，该中间保护单元满足至少一项选自下列(1)～(7)的结构特征：

(1)该中间保护单元置于两该保护单元之间；

(2)该第一保护部露出于该溅射板，该第二保护部乘载该溅射板并与该溅射板重叠；

(3)该第一保护部与该第二保护部相连接；

(4)该第一保护部具有一凸部，该凸部凸出于该背板且并列该溅射板，或该凸部的高度低于该溅射板的高度；

(5)该第二保护部的宽度等于或稍大于该溅射板的宽度；

(6)该中间保护单元的长度占该背板的长度的3％至100％；

(7)该中间保护单元是可卸除地设置在该背板上。

9.一种溅射靶材的使用方法，其特征在于，包括提供一权利要求1～8任一项所述的溅射靶材，其中该保护单元是可卸除地设置在该背板上。

10.如权利要求9所述的溅射靶材的使用方法，其特征在于，更包括当该保护单元被溅镀消耗后，将该保护单元移出该背板。