[发明专利]旋转式表面处理装置、用于处理槽的环状部件

说明书

提供处理液的排出时间较短并且处理效率较高的旋转式表面处理装置和用于处理槽的环状部件。通过处理槽(2)的旋转，部件(20)与电极(50)接触，而实施电镀。此时，镀覆液(16)借助泵(P)而被循环使用。在更换镀覆液(16)时等，在排出镀覆液(16)时从侧壁(80)的空隙向外部放出该镀覆液(16)。在排出时，不进行基于泵(P)的循环。形成于侧壁(80)的空隙(8)在内侧形成为比部件(20)的最小尺寸小。朝向外侧而形成为变大。因此，会迅速地进行排水。

技术领域

本发明涉及使处理对象与镀覆液等处理液一起旋转来进行表面处理的装置。

背景技术

为了对较小的部件等大量地进行镀覆而使用旋转式表面处理装置。图17示出了专利文献1(日本特许4832970号)中公开的旋转式表面处理装置。

在外部壳体18中设置有处理槽2。处理槽2具有底面部件4、侧壁6、罩部件14。在处理槽2的下部结合有通过电动机(未图示)而旋转的旋转轴10，由此，处理槽2也旋转。

在处理槽2中导入有处理液16和作为镀覆对象(处理对象)的多个部件20。以与处理液16接触的方式设置第1电极12。

当处理槽2旋转时，由于离心力而导致部件20成为一个整体而被压向侧壁6。侧壁6兼用作第2电极，通过向第1电极12与侧壁6之间进行通电，能够对部件20实施镀覆。

在底面部件4与侧壁6之间设置有空隙8。空隙8形成为比部件20的最小尺寸稍小。因此，通过离心力而使处理液16穿过空隙8向外部排出，另一方面，部件20留在处理槽2中。

排出到处理槽2外的处理液16借助泵P而再次返回到处理槽2中。由此，处理槽2中的处理液16循环，始终向部件20供给新的处理液16。

此外，在更换处理液16的种类等的情况下，使处理槽2旋转，从而将处理液16经由空隙8而向外部排出。

但是，在上述那样的现有技术中的旋转式表面处理装置中，存在如下问题：在进行处理液16的更换等时，从空隙8排出处理液16需要时间，难以提高处理效率。

特别地，在部件20比较微小的情况下(例如，直径为30μm的金属球(金属粉末)等)，空隙8需要变得狭窄，处理液16的排出时间变得更长。

发明内容

本发明解决上述那样的问题点，其目的在于提供处理液的排出时间较短并且处理效率较高的旋转式表面处理装置。

该发明的独立的几个特征列举如下。

(1)该发明的旋转式处理装置具有：处理槽，其具有侧壁和底面，该处理槽收纳处理液和处理对象；以及旋转机构，其使所述处理槽旋转，以使处理对象朝向所述侧壁受到离心力，该旋转式处理装置的特征在于，在所述侧壁上设置有空隙，该空隙用于使处理液通过基于所述处理槽的旋转而产生的离心力向外部排出，所述空隙在与所述处理对象接触的内侧被形成为比该处理对象的最小外形尺寸小，所述空隙在外侧被形成得较大。

因此，能够加快处理液的排出速度，能够提高处理效率。

(2)该发明的旋转式处理装置的特征在于，侧壁是通过将中空圆盘层叠而构成的，所述空隙是通过在相邻的中空圆盘之间夹着间隔件而形成的，所述中空圆盘被形成为外侧比内侧薄。

因此，能够容易地得到能够加快处理液的排出速度的构造

(3)该发明的旋转式处理装置的特征在于，侧壁是通过使楔状部件的宽幅侧朝向内侧并以隔着空隙而相邻的方式固定于支承部件从而构成的。

因此，能够容易地得到能够加快处理液的排出速度的构造。