[发明专利]旋转式表面处理装置、用于处理槽的环状部件

权利要求书

1.一种旋转式表面处理装置，其具有：

处理槽，其具有侧壁和底面，该处理槽收纳处理液和处理对象；以及

旋转机构，其使所述处理槽旋转，以使处理对象朝向所述侧壁受到离心力，

该旋转式处理装置的特征在于，

在所述侧壁上设置有空隙，该空隙用于使处理液受到基于所述处理槽的旋转而产生的离心力向外部排出，

所述空隙在与所述处理对象接触的内侧被形成为比该处理对象的最小外形尺寸小，所述空隙在外侧被形成得较大。

2.根据权利要求1所述的旋转式表面处理装置，其特征在于，

所述侧壁是通过将中空圆盘层叠而构成的，

所述空隙是通过在相邻的中空圆盘之间夹着间隔件而形成的，

所述中空圆盘被形成为外侧比内侧薄。

3.根据权利要求1所述的旋转式表面处理装置，其特征在于，

所述侧壁是通过使楔状部件的宽幅侧朝向内侧并以隔着空隙而相邻的方式固定于支承部件而构成的。

4.一种旋转式表面处理装置，其具有：

处理槽，其具有侧壁和底面，该处理槽收纳处理液和处理对象；以及

旋转机构，其使所述处理槽旋转，以使处理对象朝向所述侧壁受到离心力，

该旋转式处理装置的特征在于，

在所述侧壁上设置有空隙，该空隙用于使处理液受到基于所述处理槽的旋转而产生的离心力向外部排出，

在所述空隙的至少与所述处理对象接触的内侧设置多孔质部件，所述空隙在外侧被形成得较大。

5.一种旋转式表面处理装置，其具有：

处理槽，其具有侧壁和底面，该处理槽收纳处理液和处理对象；以及

旋转机构，其使所述处理槽旋转，以使处理对象朝向所述侧壁受到离心力，

该旋转式处理装置的特征在于，

在所述侧壁上设置有空隙，该空隙用于使处理液受到基于所述处理槽的旋转而产生的离心力向外部排出，

具有所述空隙的侧壁的从内侧到外侧的长度为所述处理对象的平均直径的50倍以下。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的旋转式表面处理装置，其特征在于，

具有以与所述处理液接触的方式被设置的第1电极，并且具有作为所述侧壁的至少一部分的第2电极。

7.一种用于处理槽的环状部件，该环状部件用于构成处理槽的侧壁，该处理槽具有侧壁和底面，该处理槽收纳处理液和处理对象并进行旋转，该环状部件的特征在于，

在从该环状部件的外周端到内周端近前的范围内设置有用于使处理液容易地排出的凹部。