[发明专利]一种真空计及其工作方法有效
| 申请号： | 201910160225.6 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN109950319B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 向平华;徐冬冬;钟妮;彭晖;段纯刚 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/34;G01L21/00 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空计 及其 工作 方法 | ||
1.一种真空计，该真空计基于平面薄膜晶体管结构，其特征在于：包括绝缘衬底（1）、三氧化钨薄膜沟道（2）、源极（3）、漏极（5）、栅极（4）及离子凝胶（6）；所述源极（3）、漏极（5）与三氧化钨薄膜沟道（2）两端相连，栅极（4）与三氧化钨薄膜沟道（2）隔离，离子凝胶（6）覆盖于三氧化钨薄膜沟道（2）表面，并与栅极（4）相连；将源极（3）、漏极（5）及栅极（4）外接电压、电流测试源表，即构成所述的真空计。
2.根据权利要求1所述的真空计，其特征在于：所述绝缘衬底为刚性的LaAlO3、Al2O3、硅、石英、玻璃、柔性PET、PEN、PI有机膜、白云母、黑云母或金云母薄片。
3.根据权利要求1所述的真空计，其特征在于，所述三氧化钨薄膜为单晶、多晶或非晶；三氧化钨薄膜沟道层厚度为10~100nm，宽度为100~500μm，长度为100~2000μm。
4.根据权利要求1所述的真空计，其特征在于：所述离子凝胶为柔性、透明的；离子凝胶包括离子液体和有机聚合物，厚度为20~1000μm。
5.根据权利要求1所述的真空计，其特征在于：所述源极、漏极以及栅极为金属电极或透明导电氧化物电极；厚度为10~1200nm ；其中，所述透明导电氧化物为ITO、AZO和GAZO其中之一。
6.一种如权利要求1至5中任一项所述的真空计的工作方法，其特征在于：若向所述真空计的栅极施加2-4 V 的正向偏压，则通过测试三氧化钨薄膜沟道的阻变幅值与真空度的关系，获得真空度信息。
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