[发明专利]具有绝对压力补偿的空气质量流量传感器

说明书

本发明题为“具有绝对压力补偿的空气质量流量传感器”。本发明公开了一种质量流量传感器组件，该质量流量传感器组件包含绝对压力传感器以便经由电子器件补偿流过通道的流体的质量流量的输出读数。流量传感器和压力传感器可彼此紧邻地构建在通道中。可使用MEMS技术制造包括绝对压力传感器的质量流量传感器组件。

背景技术

本公开涉及用于流体的流量测量的设备。

发明内容

本公开揭示了一种质量流量传感器组件，该种质量流量传感器组件包含绝对压力传感器以便经由电子器件补偿流过通道的流体的质量流量的输出读数。流量传感器和压力传感器可彼此紧邻地构建在通道中。可使用MEMS(微机电系统)技术制造包括绝对压力传感器的质量流量传感器组件。

附图说明

图1是流体测量系统的基本布局的示意图；

图2是通道中的流量传感器的示意图；

图3是流量传感器的另一种型式的示意图；

图4是具有大气压力传感器的空气流量传感器的微流型式的分解图的示意图；

图5是组装样式的图4的空气流量型号的示意图；

图6是具有与图5中的型号不同的端口的压力传感器的示意图；

图7是具有大气压力传感器的空气流量传感器的产品型式的分解图的示意图；

图8是空气流量传感器的分解图的另一个示意图；

图9是具有大气压力传感器的空气流量传感器的产品型式的分解图的示意图；

图10示出了图9所示的空气流量传感器的下部视图；

图11是示出绝对压力及随高度的变化的表格；

图12揭示了与管流和孔流的压降或压损有关的方程的图表；

图13是关于质量流量的方程的图表；

图14是揭示质量流量的标准条件和计算的图表；

图15是示出计算的图表，这些计算指出了在特定温度下体积流量和密度因压力变化而出现的变化；

图16是指示在特定温度下采用管式流时的压降变化的图表；并且

图17是示出在与以上所指示的特定温度不同的温度下的压降变化的图表。

具体实施方式

本发明系统和方法可在本文所述和/或所示的实施方式中包括一个或多个处理器、计算机、控制器、用户界面、无线和/或有线连接等。

本具体实施方式可提供本发明系统和方法的一个或多个例示性且具体的示例或实现方式。可存在所述系统和方法的许多其他示例或实现方式。

所述系统或方法的各方面可按照附图中的符号进行描述。符号可具有几乎任何形状(例如，方框)并且可指定硬件、对象、部件、活动、状态、步骤、过程以及其他项。术语“流体”可以指气体或液体。

当校准质量流量传感器以按压降输出时，绝对压力对于实现质量流量传感器的准确输出可能是至关重要的。给定质量流量下跨部件的压降可基于绝对压力的变化而改变，但传感器的输出将保持不变。当校准质量流量传感器以按压降输出时，绝对压力对于实现准确输出似乎是至关重要的。

有些人可能使用模拟质量流量传感器，这些传感器未经补偿，并且用于需要压差的应用中。他们可能期望升级到其下一代的数字高分辨率补偿传感器的产品。竞争者可制造不必校正绝对压力的补偿压降传感器。本公开通过提供更准确的性能而可表现出竞争优势。