[发明专利]具有绝对压力补偿的空气质量流量传感器

权利要求书

1.一种流量传感器组件，包括：

外壳，所述外壳具有通道；

输入端口，所述输入端口连接到所述通道的第一端；

输出端口，所述输出端口连接到所述通道的第二端；

质量流量传感器，所述质量流量传感器位于所述通道中；

绝对压力传感器，所述绝对压力传感器具有一定构型，使得所述绝对压力传感器可检测所述腔体中的绝对压力；和

电子器件模块，所述电子器件模块连接到所述绝对压力传感器和所述质量流量传感器；并且

其中：

将来自所述质量流量传感器的质量流速信号发送到所述电子器件；

所述电子器件根据所述流速信号来提供所述通道中的流体的质量流速的指示；

将来自所述绝对压力传感器的绝对压力信号发送到所述电子器件；并且

所述电子器件根据所述绝对压力信号来补偿所述质量流速的所述指示。

2.根据权利要求1所述的组件，其中：

将所述质量流量传感器和所述压力传感器集成为单个单元；以及

利用MEMS制造技术将所述外壳和所述单个单元制造为一个或多个晶粒。

3.根据权利要求1所述的组件，其中：

所述通道在沿着直线路径从所述通道的所述第一端到所述通道的所述第二端的方向上延伸；并且

所述通道表现为从所述通道的所述第一端到所述通道的所述第二端具有一个或多个弯曲的迂回路径；或者

所述质量流量传感器包括第一热传感器和第二热传感器；并且

温度数据从所述第一热传感器和所述第二热传感器传送到所述电子器件。

4.根据权利要求3所述的组件，其中：

所述电子器件根据所述第一热传感器和所述第二热传感器的温度信号来计算所述流体的所述质量流速；或者

所述质量流量传感器还在所述第一热传感器和所述第二热传感器中的至少一者的上游包括加热器。

5.根据权利要求1所述的组件，其中：

所述电子器件包括处理器和存储器；

所述存储器包含选自包括一个或多个查找表和一个或多个算法的组中的一项或多项；

所述处理器包括模数转换器(ADC)，所述ADC具有连接到所述质量流量传感器和所述绝对压力传感器的输入；并且

所述处理器根据如从所述ADC的输出数字化的所述质量流速信号和通道压力信号以及选自包括一个或多个查找表和一个或多个算法的所述组中的所述一项或多项，以数字方式确定所述通道中的流体的补偿质量流速。

6.根据权利要求1所述的组件，其中：

所述绝对压力传感器的所述构型包括：

腔体，所述腔体在所述外壳中经由分接头连接到所述通道；和

绝对压力检测元件，所述绝对压力检测元件位于所述腔体中；

并且

其中通向所述通道的所述分接头处于所述通道的所述第一端与所述第二端之间的位置。

7.根据权利要求6所述的组件，其中：

所述分接头的所述位置尽可能地靠近所述流量传感器定位；或者

因所述分接头距所述质量流量传感器的距离而引起的所述通道中的流体的压力指示的误差经过校准而排除掉。

8.一种补偿流量传感器，包括：

流动通道，所述流动通道在第一端处具有入口端口并且在第二端处具有出口端口；

质量流量传感器，所述质量流量传感器位于所述流动通道中；

绝对压力传感器，所述绝对压力传感器与所述流量传感器相邻地定位；和

控制器，所述控制器具有输入，所述输入用于连接到所述质量流量传感器和所述绝对压力传感器的输出，并且具有输出，所述输出用于指示所述通道中的流体的质量流速；并且

其中由所述控制器根据所述绝对压力传感器所检测到的绝对压力的量来补偿所述质量流速的所述指示。