[发明专利]安装治具

说明书

一种安装治具，应用于炉管机台，包括支撑座，所述支撑座直接或间接地安装于所述炉管机台；所述支撑座上设置有可调节支撑件，所述可调节支撑件用于支撑所述炉管机台内的至少一个部件。所述可调节支撑件可以对所述部件形成良好的支撑，分散了所述部件原有连接处的压力，减小了接触应力，避免了因应力过大而造成的断裂。同时，因为所述可调节支撑件对所述部件的支撑，使所述部件能够安装并保持在正确的位置上，避免了所述部件安装不到位或者因晃动等原因造成的倾斜，以及因倾斜导致的被其他结构撞坏。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，特别是涉及一种安装治具。

背景技术

炉管机台是半导体制造领域的重要设备。在半导体器件制造过程中，许多工艺流程都是在高温下进行的，比如用来掺杂离子的热扩散工艺、生长氧化层的热氧化工艺、以及用来消除缺陷的退火工艺。这些工艺一般都是在炉管机台内完成的。

炉管机台中安装有多个长短不一的石英制部件。其中一些石英部件不易安装，机台内部空间局限，而且安装角度在视觉上不易判断，造成了这些石英部件容易安装不到位，安装过程中接触面积多寡不均，再加上本身的材质和尺寸问题，有些部件的长度可达1300mm之长，导致了这些石英部件极易损坏，导致产品报废。

因此，如何保证石英部件的完整性是急需解决的问题。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种安装治具，避免石英部件的断裂。

为解决上述问题，本发明提供一种安装治具，应用于炉管机台，包括支撑座，所述支撑座直接或间接地安装于所述炉管机台；所述支撑座上设置有可调节支撑件，所述可调节支撑件用于支撑所述炉管机台内的至少一个部件。

可选的，所述可调节支撑件为可调节的螺钉、螺栓、按钮、支撑板或支撑杆。

可选的，所述可调节支撑件的其中一端部形状与所述部件上被支撑部位的外部形状匹配，用于夹持所述部件。

可选的，所述可调节支撑件数量至少为一个。

可选的，所述可调节支撑件上设置有保护层。

可选的，所述保护层是橡胶软垫或硅胶软垫。

可选的，所述可调节支撑件垂直设置于所述支撑座上。

可选的，所述支撑座是圆环状的支撑环或圆筒状的支撑环。

可选的，所述部件的形状是直形的、弧形的、L形的、方形的、或者不规则形状。

可选的，所述部件的材质为石英或者玻璃。

可选的，所述部件是热电偶、气管或气嘴。

可选的，安装治具还包括法兰、内管密封圈，所述法兰安装在所述炉管机台上，所述内管密封圈固定在所述法兰上，所述支撑座固定在所述内管密封圈上。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本技术方案中增设了所述支撑座和所述可调节支撑件，所述可调节支撑件可以对所述部件形成良好的支撑，分散了所述部件原有连接处的压力，减小了接触应力，避免了因应力过大而造成的断裂。同时，因为所述可调节支撑件对所述部件的支撑，使所述部件能够安装并保持在正确的位置上，避免了所述部件安装不到位或者因晃动等原因造成的倾斜，以及因倾斜导致的被其他结构撞坏的情形。

进一步的，所述可调节支撑件的其中一端部形状与所述部件外缘匹配，可以根据所述部件的形状结构选用不同的可调节支撑件，因而可以满足不同部件的安装需求。

进一步的，所述可调节支撑件上可以设置保护层，将所述可调节支撑件的本体和所述部件隔离开，从而避免了对所述部件的额外损伤。

附图说明