[发明专利]DOE衍射角的测量装置及其测量方法

权利要求书

1.一种DOE衍射角测量装置，其特征在于，包括单频激光器模块(1)、供待测DOE(4)放置的角度旋转台(3)、傅里叶透镜(6)和光斑显示模块；该光斑显示模块由图像探测器(7)和与该图像探测器(7)相连的数据处理设备(8)组成；

沿所述的单频激光器模块(1)的输出光方向依次放置有角度旋转台(3)、傅里叶透镜(6)和图像探测器(7)，所述的单频激光器模块(1)、待测DOE(4)、傅里叶透镜(6)、图像探测器(7)共光轴，所述的傅里叶透镜(6)放置在距离待测DOE(4)后方，且保证衍射光束满足傅里叶透镜(6)近轴条件，所述的图像探测器(7)放置在傅里叶透镜(6)后方，且能将待测光斑囊括在视野内位置；

所述的待测DOE(4)的转动角度θ，衍射子光束在傅里叶面的光斑整体平移为sinθ·f，其中f为傅里叶透镜焦距，当满足sinθ·f＝k·Δ，k＝0,±1,±2...，则第k级衍射光束回到原位，其中，转动角度θ满足关系sinθ≈tanθ。

2.根据权利要求1所述的DOE衍射角测量装置，其特征在于，所述的单频激光器模块(1)由具有单频特性的单频激光器和准直器件组成。

3.根据权利要求1所述的DOE衍射角测量装置，其特征在于，待测DOE(4)固定夹持在角度旋转台(3)中心。

4.根据权利要求1所述的DOE衍射角测量装置，其特征在于，所述的待测DOE(4)为衍射角小，衍射子光束在傅里叶面的光斑间距为定值Δ，并固定在所述的角度旋转台(3)上，与该角度旋转台(3)同步转动。

5.根据权利要求1所述的DOE衍射角测量装置，其特征在于，所述的待测DOE(4)的傅里叶面始终保持与待测DOE(4)表面法线垂直，且距离始终保持为f。

6.根据权利要求1所述的DOE衍射角测量装置，其特征在于，所述的数据处理设备(8)能显示和标记光斑位置。

7.利用权利要求1所述的DOE衍射角测量装置进行衍射角测量的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

步骤1)将待测DOE固定在角度旋转台中心，使待测DOE表面法线与测量装置光轴保持平行，调整图像探测器(7)，使待测光斑显示在图像探测器(7)视野中央，在数据处理设备上标记待测光束光斑位置；

步骤2)读取旋转前角度旋转台显示的角度，旋转角度旋转台，在旋转过程中待测光束在图像探测器上的光斑会发生移动，一直旋转角度旋转台，直到光斑重新回到标记位置，记下此时角度旋转台显示的角度，旋转前后角度之差即为该光束对应衍射角。