[发明专利]具有高度择优取向的纯相铁酸铋薄膜的制备方法

权利要求书

1.具有高度择优取向的纯相铁酸铋薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：在(100)-Si基片上制备出具有高度(001)择优取向的LNO导电薄膜，用作BFO薄膜的底电极；

步骤2：制备BFO前驱体溶胶；

步骤3：将BFO前驱体溶胶旋涂在步骤1制备好的底电极上，得到BFO湿膜，旋涂速率为4000-5000转/分，旋涂时间为20秒；

步骤4：将BFO湿膜在300℃-400℃温度下热解3-10分钟，而后在575-625℃温度下退火2-3分钟，将得到的BFO薄膜重复旋涂、热解、退火步骤若干次，将经重复旋涂、热解、退火步骤处理后的BFO薄膜在575-625℃温度下一次性退火6-8分钟，制得具有高度(001)择优取向的BFO薄膜；

步骤1包括：

步骤1.1：称取乙酸镍和硝酸镧溶于乙酸和水的混合溶剂中，70-100℃水浴搅拌1-2小时，移至室温继续搅拌6-8小时，得到LNO前驱体溶液，静置24小时以上备用；所述乙酸镍和硝酸镧的摩尔比为1:1，乙酸和水的体积比为5-7:1；

步骤1.2：将LNO前驱体溶液旋涂在(100)-Si基片上，制备LNO湿膜，旋涂速率为4000-5000转/分，旋涂时间为20秒；

步骤1.3：将LNO湿膜在300-400℃温度下热解5-10分钟，而后在675-725℃温度下退火8-10分钟，重复旋涂、热解、退火若干次，得到具有高度(001)择优取向的LNO导电薄膜；

步骤2包括：

步骤2.1：按铋离子：铁离子＝1.05-1.10:1的摩尔比，称取硝酸铋溶于乙二醇甲醚，室温搅拌1-2小时；

步骤2.2：按铋离子：铁离子＝1.05-1.10:1摩尔比，称取硝酸铁溶于步骤2.1得到的溶液，室温搅拌6-12小时，制备BFO前驱体溶胶，静置备用。