[发明专利]检测方法、装置和存储介质有效
| 申请号: | 201910057514.3 | 申请日: | 2019-01-22 |
| 公开(公告)号: | CN109683358B | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
| 发明(设计)人: | 前昌宏 | 申请(专利权)人: | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01N21/95 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 荣甜甜;刘芳 |
| 地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测 方法 装置 存储 介质 | ||
1.一种检测方法,其特征在于,包括:
接收检测指令,所述检测指令用于指示对有缺陷的显示屏进行缺陷原因检测;
获取显示屏的图像;
对比所述图像和标准图像,获取所述显示屏中的缺陷的特征;
根据所述缺陷的特征,获取所述显示屏的缺陷原因;
所述根据所述缺陷的特征,获取所述显示屏的缺陷原因,包括:
若所述缺陷的特征为:所述图像中的显示屏的显示图案与所述标准图像中的显示屏的显示图案不同,则获取所述图像中的显示屏的显示图案中异常的缺陷形状或者缺陷位置;
根据所述图像中的显示屏的显示图案中异常的缺陷形状或者缺陷位置,获取所述显示屏的缺陷原因;
所述根据所述图像中的显示屏的显示图案中异常的缺陷形状或者缺陷位置,获取所述显示屏的缺陷原因,包括:
根据所述图像中的显示屏的显示图案中异常的缺陷形状,以及,预设的缺陷形状集,获取所述显示屏的缺陷原因,所述预设的缺陷形状集中包括多个缺陷形状和每个所述缺陷形状对应的缺陷原因;或者,
根据所述图像中的显示屏的显示图案中异常的缺陷位置,判断所述缺陷位置处是否有异物;
若是,则向元素分析装置发送所述缺陷位置,以使所述元素分析装置对所述缺陷位置处的所述异物进行元素分析,获取所述显示屏的缺陷原因;
所述根据所述缺陷的特征,获取所述显示屏的缺陷原因,还包括:
若所述缺陷的特征为:所述图像中的显示屏的尺寸与所述标准图像中的显示屏的尺寸不同,则确定所述显示屏的缺陷原因为刻蚀制程异常;
所述显示屏的尺寸包括:所述显示屏中的线和孔的尺寸。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述缺陷的特征,获取所述显示屏的缺陷原因,包括:
若所述缺陷的特征为:所述图像中的显示屏的显示图案与所述标准图像中的显示屏的显示图案的位置不同,则确定所述显示屏的缺陷原因为曝光制程异常。
3.一种检测装置,其特征在于,
检测指令获取模块,用于接收检测指令,所述检测指令用于指示对有缺陷的显示屏进行缺陷原因检测;
图像获取模块,用于获取显示屏的图像;
缺陷原因获取模块,用于根据所述图像和所述显示屏的标准图像,获取所述显示屏的缺陷原因;
所述缺陷原因获取模块,具体用于对比所述图像和所述标准图像,获取所述显示屏中的缺陷的特征;
根据所述缺陷的特征,获取所述显示屏的缺陷原因;
所述根据所述缺陷的特征,获取所述显示屏的缺陷原因,包括:
若所述缺陷的特征为:所述图像中的显示屏的显示图案与所述标准图像中的显示屏的显示图案不同,则获取所述图像中的显示屏的显示图案中异常的缺陷形状或者缺陷位置;
根据所述图像中的显示屏的显示图案中异常的缺陷形状或者缺陷位置,获取所述显示屏的缺陷原因;
所述根据所述图像中的显示屏的显示图案中异常的缺陷形状或者缺陷位置,获取所述显示屏的缺陷原因,包括:
根据所述图像中的显示屏的显示图案中异常的缺陷形状,以及,预设的缺陷形状集,获取所述显示屏的缺陷原因,所述预设的缺陷形状集中包括多个缺陷形状和每个所述缺陷形状对应的缺陷原因;或者,
根据所述图像中的显示屏的显示图案中异常的缺陷位置,判断所述缺陷位置处是否有异物;
若是,则向元素分析装置发送所述缺陷位置,以使所述元素分析装置对所述缺陷位置处的所述异物进行元素分析,获取所述显示屏的缺陷原因;
所述缺陷原因获取模块,具体用于若所述缺陷的特征为:所述图像中的显示屏的尺寸与所述标准图像中的显示屏的尺寸不同,则确定所述显示屏的缺陷原因为刻蚀制程异常;
所述显示屏的尺寸包括:所述显示屏中的线和孔的尺寸。
4.一种检测装置,其特征在于,包括:至少一个处理器和存储器;
所述存储器存储计算机执行指令;
所述至少一个处理器执行所述存储器存储的计算机执行指令,使得所述检测装置执行权利要求1或2所述的方法。
5.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质上存储有计算机执行指令,当所述计算机执行指令被处理器执行时,实现权利要求1或2所述的方法。
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