[发明专利]光测距装置以及加工装置

说明书

将光测距装置(3)构成为：设置有具有接收从光干涉部(31)输出的干涉光并输出干涉光的检测信号的PD(32－1)～(32－N)的光检测器(32)、以及从自PD(32－1)～(32－N)输出的检测信号之中选择任意一个检测信号的开关(33)，距离计算部(35)根据由开关(33)选择出的检测信号，计算直至测定对象物(1)为止的距离。

技术领域

本发明涉及计算直至测定对象物为止的距离的光测距装置和具备光测距装置的加工装置。

背景技术

作为使用光来测定直至测定对象物为止的距离的方法之一，有以使光源频率扫描为特征的光干涉方式。

在以扫描光源频率为特征的光干涉方式中，朝向测定对象物照射频率随着时间的经过而发生变化的频率扫描光，将被测定对象物反射的频率扫描光作为反射光而接收。

在以下的专利文献1中公开了如下技术：将照射到测定对象物之前的频率扫描光的一部分作为参照光，根据参照光与反射光的干涉光，测定直至测定对象物为止的距离。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-265316号公报

发明内容

作为计算直至测定对象物中的多个部位为止的距离的光测距装置，有安装有多个受光元件的光测距装置，该多个受光元件接收反射光，输出反射光的检测信号。

安装有多个受光元件的光测距装置为了将由多个受光元件检测到的各个检测信号从模拟信号变换为数字信号，需要安装与受光元件的数量相应量的模拟数字变换器(以下，称为“A/D变换器”)。因而，计算距离的部位的数量越多，则光测距装置需要安装越多的A/D变换器，存在成本高的课题。

本发明是为了解决如上所述的课题而完成的，其目的在于得到无需安装多个A/D变换器，就能够计算直至测定对象物中的多个部位为止的距离的光测距装置以及加工装置。

本发明涉及的光测距装置，具备：频率扫描光输出部，以与时钟信号同步的方式重复输出频率随时间的经过而发生变化的频率扫描光；光发送部，将从频率扫描光输出部输出的频率扫描光作为参照光而输出，并且朝向测定对象物照射频率扫描光；光干涉部，将被测定对象物反射的频率扫描光作为反射光而接收，使反射光与参照光发生干涉，输出反射光与参照光的干涉光；光检测器，具有多个受光元件，该多个受光元件接收从光干涉部输出的干涉光，输出干涉光的检测信号；控制信号生成部，以与所述时钟信号同步的方式生成并输出表示选择对象的检测信号的控制信号；开关，依照由所述控制信号生成部输出的控制信号，从自多个受光元件输出的检测信号之中选择任意一个检测信号；以及距离计算部，根据由开关选择出的检测信号，计算直至测定对象物中的任意的部位为止的距离。

根据本发明，将光测距装置构成为：设置有具有接收从光干涉部输出的干涉光并输出干涉光的检测信号的多个受光元件的光检测器、以及从自多个受光元件输出的检测信号之中选择任意一个检测信号的开关，距离计算部根据由开关选择出的检测信号，计算直至测定对象物中的任意的部位为止的距离。因而，本发明所涉及的光测距装置无需安装多个A/D变换器，就能够计算直至测定对象物中的多个部位为止的距离。

附图说明

图1的图1A是示出实施方式1的加工装置2的结构图。图1B是示出测定对象物1的说明图。

图2是示出实施方式1的光测距装置3的结构图。

图3是示出三角波信号的波形以及时钟信号的波形的说明图。

图4是示出作为从激光光源12输出的频率扫描光的参照光和被测定对象物1的部位1－1～1－4反射的反射光的说明图。

图5是示出测定对象物1中的部位1－1～1－4的说明图。