[发明专利]超低温冷却系统

权利要求书

1.一种超低温冷却系统，其特征在于，具备：

气体循环源，使冷却气体循环；

超低温制冷机，具备冷却所述冷却气体的制冷机冷却台；

冷却气体流路，使所述冷却气体从所述气体循环源流经所述制冷机冷却台被冷却，并使被冷却的冷却气体经由被冷却物流向所述气体循环源；及

控制装置，控制所述气体循环源以按照规定的流量模式执行所述被冷却物的从室温冷却至目标冷却温度的初始冷却，

所述规定的流量模式预先设定成使所述冷却气体从所述初始冷却开始至过渡时刻为止以第1平均流量流过所述冷却气体流路，使所述冷却气体从所述过渡时刻至所述初始冷却完成为止以第2平均流量流过所述冷却气体流路，

所述第2平均流量设为小于所述第1平均流量，使得超低温冷却系统的冷却能力相比从所述过渡时刻至所述初始冷却完成为止维持所述第1平均流量的情况增加。

2.根据权利要求1所述的超低温冷却系统，其特征在于，

所述控制装置与所述气体循环源的启动或所述气体循环源及所述超低温制冷机的启动同步地开始所述初始冷却。

3.根据权利要求1或2所述的超低温冷却系统，其特征在于，

所述规定的流量模式预先设定成使所述冷却气体在所述初始冷却开始至所述过渡时刻为止的期间的至少一段时间以所述超低温冷却系统的上限冷却气体流量流过所述冷却气体流路。

4.根据权利要求1或2所述的超低温冷却系统，其特征在于，

所述规定的流量模式预先设定成使所述冷却气体在所述过渡时刻至所述初始冷却完成为止的期间的至少一段时间以使所述超低温冷却系统的冷却能力在所述目标冷却温度下最大化的冷却气体流量流过所述冷却气体流路。

5.根据权利要求1或2所述的超低温冷却系统，其特征在于，

所述过渡时刻预先设定在第1基准时刻之后且第2基准时刻之前，

所述第1基准时刻表示为通过所述初始冷却应从所述被冷却物中移除的热量与第1代表温度下的所述超低温冷却系统的冷却能力之比，所述第2基准时刻表示为通过所述初始冷却应从所述被冷却物中移除的热量与第2代表温度下的所述超低温冷却系统的冷却能力之比，

所述第1代表温度和所述第2代表温度选自所述室温至所述目标冷却温度为止的温度范围中，所述第2代表温度低于所述第1代表温度。

6.根据权利要求1或2所述的超低温冷却系统，其特征在于，

所述控制装置具备：

初始冷却设定，其根据所述规定的流量模式预先设定所述初始冷却开始至完成为止的各时刻的目标冷却气体流量；及

气体流量控制部，其根据所述初始冷却设定和从所述初始冷却开始起的经过时间来确定所述目标冷却气体流量，并控制所述气体循环源以使所述冷却气体以所述目标冷却气体流量流过所述冷却气体流路。