[发明专利]有机EL显示装置及有机EL显示装置的制造方法

说明书

有机EL显示装置具备：基板，其具有形成包含薄膜晶体管的驱动电路的表面；平坦化膜，其通过覆盖所述驱动电路使所述基板的所述表面平坦化；以及有机发光元件，其形成于所述平坦化膜的表面上，并与所述驱动电路电连接，所述平坦化膜包含层叠于所述驱动电路上的第一无机绝缘膜、层叠于所述第一无机绝缘膜上的第二无机绝缘膜以及层叠于所述有机绝缘膜上的第二无机绝缘膜，所述第二无机绝缘膜的朝向所述有机绝缘膜的相反方向的表面具有50nm以下的算术平均粗糙度。

技术领域

本发明关于有机EL显示装置及有机EL显示装置的制造方法。

背景技术

近年来，应用在电视接收机等而不断发展的有机EL显示装置中，具备有形成在每个像素的有机发光元件，以及通过规定的电流使有机EL发光元件发光的驱动电路。在有源矩阵型的有机EL显示装置中，在设置成矩阵状的每个像素上，于玻璃基板等表面上形成有构成驱动电路的薄膜晶体管，在覆盖该薄膜晶体管的绝缘膜上形成有有机发光元件。在专利文献1中公开了，在这种有源矩阵型的显示器中应降低薄膜晶体管相对于像素的占有面积，以形成多层结构的薄膜晶体管。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2017-11173号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

在有机EL显示装置中，例如，若在每个像素或显示画面中的每个任意区域中产生亮度不均或颜色不均(以下，将亮度不均及/或颜色不均总称为“显示不均”)等时，则显示品质降低，从而该产品的价值降低。因此，在有机EL显示装置中，在驱动电路中追加针对显示不均的补偿电路，或在观察初始显示状态的基础之上在每个像素或每个规定的区域上设置有校正单元，所述校正单元校正有机发光元件的驱动电流。但是，例如，构成设置在每个像素上的补偿电路的电路元件有可能具有偏差，或者因采取针对显示不均的措施而有可能导致尺寸或成本增加。

在此，本发明的目的在于提供一种即便不具备有补偿电路等也可使显示不均减少的有机EL显示装置，以及这种可使显示不均减少的有机EL显示装置的制造方法。

解决问题的方案

本发明第一实施方式的有机EL显示装置具备：基板，其具有形成包含薄膜晶体管的驱动电路的表面；平坦化膜，其通过覆盖所述驱动电路使所述基板的所述表面平坦化；以及有机发光元件，其形成于所述平坦化膜的表面上，并与所述驱动电路电连接，所述平坦化膜包含层叠于所述驱动电路上的第一无机绝缘膜、层叠于所述第一无机绝缘膜上的第二无机绝缘膜以及层叠于所述有机绝缘膜上的有机绝缘膜，所述第二无机绝缘膜的朝向与所述有机绝缘膜的相反方向的表面具有50nm以下的算术平均粗糙度。

本发明第二实施方式的有机EL显示装置的制造方法包含在基板上形成包含薄膜晶体管的驱动电路的工序、在所述驱动电路的表面上形成第一无机绝缘膜、有机绝缘膜及第二无机绝缘膜的工序、将所述第二无机绝缘膜的表面研磨的工序、在所述第二无机绝缘膜、所述有机绝缘膜及所述第一无机绝缘膜上形成到达所述驱动电路的接触孔的工序、将金属埋入所述接触孔的内部并在规定区域形成第一电极的工序、在所述第一电极上形成有机发光层的工序、在所述有机发光层上形成第二电极的工序。

有益效果

根据本发明的第一及第二实施方式，能够在有机EL显示装置中减少亮度不均或颜色不均等，能够适当地制造这种显示不均减少的有机EL显示装置。

附图说明

图1是概略地表示本发明的一实施方式的有机EL显示装置的驱动电路的一个例子的图。

图2是概略地表示本发明的一实施方式的有机EL显示装置的有机发光元件及薄膜晶体管的一个例子的截面图。

图3是本发明的一实施方式的有机EL显示装置的制造方法的流程图。