[发明专利]混合梯度干涉硬涂层

权利要求书

1.一种耐划痕制品，其包括：

包含第一主表面的基材；以及

布置在所述第一主表面上的光学涂层，所述光学涂层包括：

与所述第一主表面相对的第二主表面；

方向垂直于所述第二主表面的厚度；

第一梯度部分；

第二梯度部分；和

布置在所述第一梯度部分与所述第二梯度部分之间的高硬度部分；

其中，

光学涂层的折射率沿着光学涂层的厚度在所述第一主表面与所述第二主表面之间变化；

所述第一梯度部分的最大折射率与所述第一梯度部分的最小折射率之差是0.05或更大；

沿着所述第一梯度部分的厚度的每个地方，所述第一梯度部分的折射率的斜率的绝对值是0.1/nm或更小；

其中，制品展现出：

在第二主表面处测得的3％或更小的单侧适光平均光反射率，和

10GPa至30GPa的最大硬度，其中，最大硬度是在所述第二主表面上通过如下方式进行测量的：用布氏压痕计对所述第二主表面进行压痕，以形成压痕，所述压痕包括距离所述第二主表面的表面100nm或更深的压痕深度；

其中，在0.04的折射率变化上，沿着厚度方向测量斜率。

2.如权利要求1所述的制品，其中，所述第一梯度部分的最大折射率与所述第一梯度部分的最小折射率之差是0.1或更大。

3.如权利要求1所述的制品，其中，在所述第二主表面上进行测量，制品展现出80％或更大的适光平均透射率。

4.如权利要求1所述的制品，其中：

沿着第一梯度部分的厚度的每个地方，光学涂层的折射率的斜率的绝对值是0.001/nm至0.02/nm。

5.如权利要求1-4中任一项所述的制品，其中：

高硬度部分的厚度是200nm或更大；

高硬度部分中的平均折射率是1.6或更大；以及

高硬度部分的最大硬度是10GPa或更大，其中，最大硬度是通过如下方式测量的：用布氏压痕计对厚的高硬度部分进行压痕，以形成包含100nm或更大的压痕深度的压痕。

6.如权利要求5所述的制品，其中，对于高硬度部分的95％或更大的厚度，高硬度部分的最大折射率与高硬度部分的最小折射率之差是0.05或更小。

7.如权利要求5所述的制品，其中：

沿着高硬度部分的厚度的每个地方，高硬度部分的最大折射率与高硬度部分的最小折射率之差是0.05或更小。

8.如权利要求5所述的制品，其中，沿着厚度方向，从所述第二主表面朝向所述第一主表面，光学涂层依次包括：

第一梯度部分；和

与第一梯度部分接触的高硬度部分；

其中，在高硬度部分与第一梯度部分接触的地方，高硬度部分的折射率与第一梯度部分的最大折射率之差是0.05或更小。

9.如权利要求5所述的制品，其中，所述第二梯度部分与高硬度部分接触，以及其中：

第二梯度部分的最大折射率与第二梯度部分的最小折射率之差是0.05或更大；

沿着第二梯度部分的厚度的每个地方，光学涂层的折射率的斜率的绝对值是0.1/nm或更小。

10.如权利要求9所述的制品，其中：

第一梯度部分的折射率沿着厚度以移动远离第二主表面的方向单调递增；

第二梯度部分的折射率沿着厚度以移动远离第二主表面的方向单调递减。

11.如权利要求9所述的制品，其中，光学涂层由第一梯度部分、高硬度部分和第二梯度部分构成，以及其中，光学涂层与基材直接接触，以及其中，所述第二主表面是外表面。

12.如权利要求1-4中任一项所述的制品，其中，在光学涂层中的每个地方，光学涂层的折射率的斜率的绝对值是0.1/nm或更小。