[发明专利]具有脱开的电气和机械探针连接部的MEMS探针卡组件有效
| 申请号： | 201880067856.7 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN111247437B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | M·塞尔瓦拉;J·基斯特 | 申请（专利权）人： | 佛姆法克特股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 顾峻峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 脱开 电气 机械 探针 连接 mems 组件 | ||
1.一种探针阵列，包括：
空间变换器(114)；
机械地附接到所述空间变换器的两个或更多个探针承载板(110)，其中，每个探针承载板具有两个或更多个机械地附接到它的探针(102)，使得所述探针的末端(104)背对所述空间变换器(114)；
其中，所述探针承载板(110)相对于所述空间变换器的表面彼此横向分离；
其中，所述探针和所述空间变换器(114)之间的电气连接是通过所述探针的弹簧特征(116)来实现的，所述弹簧特征接触所述空间变换器而不接触所述探针承载板。
2.如权利要求1所述的探针阵列，其特征在于，所述探针包括一个或更多个柱(106)，所述一个或更多个柱提供至所述探针承载板的机械附连点。
3.如权利要求2所述的探针阵列，其特征在于，所述探针阵列中的相邻探针使具它们相应的柱彼此交错，从而能够减小所述相邻探针之间的间隔。
4.如权利要求1所述的探针阵列，其特征在于，所述空间变换器具有局部可调节的竖直位移，所述竖直位移构造成使所述探针的所述末端与所述探针阵列中的所有探针共面。
5.如权利要求4所述的探针阵列，其特征在于，通过在所述承载板和所述空间变换器之间的承载板结合部(112)来提供局部可调节的竖直位移，所述结合部对于每个所述承载板具有制造时可调节的结合厚度。
6.一种制作探针阵列的方法，所述方法包括：
提供两个或更多个探针承载板；
将两个或更多个探针机械地附接到每个探针承载板，以提供对应于所述每个探针承载板的探针承载组件；
提供空间变换器，其中，所述探针承载板相对于所述空间变换器的表面彼此横向分离；
在所有探针承载板都完全填布有它们相应的探针后，将所述探针承载组件机械地附接到所述空间变换器；
其中，所述探针和所述空间变换器之间的电气连接是通过所述探针的弹簧特征来实现的，所述弹簧特征接触所述空间变换器而不接触所述探针承载板。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述空间变换器具有局部可调节的竖直位移，所述竖直位移构造成使得所述探针的末端与所述探针阵列的所有探针是共面的。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，通过在所述承载板和所述空间变换器之间的结合部来提供局部可调节的竖直位移，所述结合部对于每个所述承载板具有制造时可调节的结合厚度，并且还包括对结合厚度进行调节以提供所述探针末端的平面度。
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