[发明专利]红外线吸收玻璃板及其制造方法、以及固体摄像元件设备

说明书

本发明提供一种能够实现固体摄像元件设备的小型化的红外线吸收玻璃板。红外线吸收玻璃板(1)具有彼此相反的第一主面和第二主面(1a、1b)、以及连结第一主面和第二主面(1a、1b)的侧面(1c)，该红外线吸收玻璃板(1)由氟磷酸盐系玻璃构成，该氟磷酸盐系玻璃以阳离子％计含有P⁵⁺10～70％、Al³⁺7～50％、Cu²⁺0.1～15％，并且以阴离子％计含有F^－10～90％、O^2－10～90％，上述红外线吸收玻璃板的厚度为0.2mm以下，在侧面(1c)不存在微裂纹。

技术领域

本发明涉及红外线吸收玻璃板及其制造方法、以及使用该红外线吸收玻璃板的固体摄像元件设备。

背景技术

在数码相机、智能手机等的相机等中，使用CCD、CMOS等的固体摄像设备。这些固体摄像元件设备具有广范围的感光灵敏度，因此，为了对应人类的视感，需要除去红外域的光。在下述的专利文献1中，作为用于除去红外域的光的近红外线截止滤光器，公开了包含氟磷酸盐系玻璃的红外线吸收玻璃板。专利文献1中，通过物理研磨使玻璃板的厚度变薄。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007－99604号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

近年来，在固体摄像元件设备中，要求更进一步的小型化。因此，对构成固体摄像元件设备的红外线吸收玻璃板，也要求更进一步的薄型化。然而，在专利文献1那样通过物理研磨使其变薄的方法中，使玻璃板的厚度过薄时，玻璃板有可能发生破裂。因此，有时无法使玻璃板充分变薄，无法使固体摄像元件设备充分小型化。

本发明的目的在于，提供一种能够实现固体摄像元件设备的小型化的红外线吸收玻璃板和该红外线吸收玻璃板的制造方法、以及固体摄像元件设备。

用于解决技术问题的技术方案

本发明涉及的红外线吸收玻璃板的特征在于，具有彼此相反的第一主面和第二主面、以及连结上述第一主面和第二主面的侧面，上述红外线吸收玻璃板由氟磷酸盐系玻璃构成，上述氟磷酸盐系玻璃以阳离子％计含有P⁵⁺10～70％、Al³⁺7～50％、Cu²⁺0.1～15％，并且以阴离子％计含有F^－10～90％、O^2－10～90％，上述红外线吸收玻璃板的厚度为0.2mm以下，在上述侧面不存在微裂纹。

通过物理研磨使红外线吸收玻璃板的厚度变薄的现有的方法中，如果为了将玻璃板的厚度变薄至0.2mm以下而使载置台的厚度变薄，有时载置台会发生破裂。另外，即使在玻璃板的厚度变薄了的情况下，从载置台取出时，玻璃板也会发生破裂。另外，即使制作了面积大的玻璃板，也会在切断时发生破裂。

相对于此，本发明的发明人发现，将通过物理研磨使厚度变薄至某种程度的氟磷酸盐系的玻璃母材浸渍于碱性洗剂时，能够得到厚度为0.2mm以下且不易发生破裂的玻璃板。其理由可以考虑如下。

氟磷酸盐系的玻璃一般耐碱性高，但是，由于本发明的氟磷酸盐系玻璃含有7阳离子％以上的降低耐碱性的Al³⁺，因此，耐碱性低。因此可以认为，在利用碱性洗剂的蚀刻工序中，玻璃母材的微裂纹被溶解，在所得到的红外线吸收玻璃板的侧面不会存在微裂纹。可以认为，通过使微裂纹消失，成为红外线吸收玻璃板的破裂的起点消失，因此，红外线吸收玻璃板的强度提高，即使厚度变薄，也不易破裂。

本发明涉及的红外线吸收玻璃板优选上述第一主面和第二主面上不存在研磨痕迹。

本发明涉及的红外线吸收玻璃板优选上述第一主面和第二主面的面积为100mm²以上且25000mm²以下。