[发明专利]红外线吸收玻璃板及其制造方法、以及固体摄像元件设备

权利要求书

1.一种红外线吸收玻璃板，其特征在于：

具有彼此相反的第一主面和第二主面、以及连结所述第一主面和第二主面的侧面，所述红外线吸收玻璃板由氟磷酸盐系玻璃构成，所述氟磷酸盐系玻璃以阳离子％计含有P⁵⁺10～70％、Al³⁺7～50％、Cu²⁺0.1～15％，并且以阴离子％计含有F^－10～90％、O^2－10～90％，所述红外线吸收玻璃板的厚度为0.2mm以下，在所述侧面不存在微裂纹。

2.如权利要求1所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：

在所述第一主面和第二主面不存在研磨痕迹。

3.如权利要求1或2所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：

所述第一主面和第二主面的面积为100mm²以上且25000mm²以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：支点间距离为2.5mm时的3点弯曲强度为35N/mm²以上。

5.如权利要求1或2所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：

所述第一主面和第二主面的面积为1mm²以上且小于1000mm²。

6.如权利要求1～5中任一项所述的红外线吸收玻璃板，其特征在于：其用于固体摄像元件设备。

7.一种红外线吸收玻璃板的阵列，其特征在于：

具有支撑体和以矩阵状配置在所述支撑体上的权利要求1～6中任一项所述的多个红外线吸收玻璃板。

8.一种红外线吸收玻璃板的制造方法，其用于制造权利要求1～6中任一项所述的红外线吸收玻璃板，该制造方法的特征在于，包括：

对由氟磷酸盐系玻璃构成的板状的玻璃母材进行物理研磨的研磨工序，所述氟磷酸盐系玻璃以阳离子％计含有P⁵⁺10～70％、Al³⁺7～50％、Cu²⁺0.1～15％，并且以阴离子％计含有F^－10～90％、O^2－10～90％；和

通过将所述物理研磨后的玻璃母材浸渍于碱性洗剂中来进行蚀刻的蚀刻工序。

9.如权利要求8所述的红外线吸收玻璃板的制造方法，其特征在于：在所述研磨工序中，通过所述物理研磨将所述玻璃母材的厚度研磨成超过0.2mm且0.3mm以下。

10.如权利要求8或9所述的红外线吸收玻璃板的制造方法，其特征在于：

在所述蚀刻工序中，通过将所述物理研磨后的玻璃母材浸渍于pH为7.1以上的碱性洗剂来进行蚀刻。

11.如权利要求8～10中任一项所述的红外线吸收玻璃板的制造方法，其特征在于：

所述碱性洗剂含有氨基多羧酸的碱盐。

12.一种固体摄像元件设备，其特征在于：

具有权利要求1～6中任一项所述的红外线吸收玻璃板。