[发明专利]1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物及其制备方法在审
申请号: | 201880059969.2 | 申请日: | 2018-07-30 |
公开(公告)号: | CN111094181A | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | B·K·黄;周孝宾 | 申请(专利权)人: | DDP特种电子材料美国第9有限公司 |
主分类号: | C01B33/04 | 分类号: | C01B33/04;C07F7/10;C23C16/00 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 徐舒 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 氨基 硅烷 化合物 及其 制备 方法 | ||
1.一种具有下式的1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物:
其中:(i)每个R1和R2均为-CH3,使得所述1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物为1,1,1-三(二甲基氨基)二硅烷;或(ii)每个R1为H,并且每个R2为-CH2CH3,使得所述1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物为1,1,1-三(乙基氨基)二硅烷。
2.一种制备1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物的方法,所述方法包括:
用胺化剂将1,1,1-三卤代二硅烷胺化,得到包含所述1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物的反应产物,从而制备所述1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物;
其中所述胺化剂包含具有式HNR1R2的有机胺化合物,其中每个R1为独立选择的具有从1至10个碳原子的烃基,并且每个R2为独立选择的具有从1至10个碳原子的烃基或H,
其中所述1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物具有以下结构式:
其中:(i)每个R1和R2均为-CH3,使得所述1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物为1,1,1-三(二甲基氨基)二硅烷;或(ii)每个R1为H,并且每个R2为-CH2CH3,使得所述1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物为1,1,1-三(乙基氨基)二硅烷。
3.如权利要求2所述的方法,其进一步包括从所述反应产物中分离所述1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物。
4.如权利要求3所述的方法,其中从所述反应产物中分离所述1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物包括:(i)对所述反应产物进行过滤;(ii)对所述反应产物进行蒸馏;或(iii)(i)和(ii)两者。
5.如权利要求2至4中任一项所述的方法,其中所述胺化剂进一步包含除所述有机胺化合物之外的卤素清除剂。
6.如权利要求5所述的方法,其中(i)所述1,1,1-三卤代二硅烷与所述胺化剂的所述有机胺化合物的摩尔比为从1:3至1:1000;(ii)所述1,1,1-三卤代二硅烷与所述胺化剂的所述卤素清除剂的摩尔比为从1:3至1:1000;或(iii)(i)和(ii)两者。
7.如权利要求2至4中任一项所述的方法,其中所述1,1,1-三卤代二硅烷与所述胺化剂的所述有机胺化合物的摩尔比为从1:6至1:1000。
8.如权利要求2至4中任一项所述的方法,其中:(i)在媒介物中进行胺化;(ii)在降低的温度下进行胺化;(iii)所述1,1,1-三卤代二硅烷为1,1,1-三氯二硅烷;或(iv)(i)至(iii)的任何组合。
9.如权利要求8所述的方法,其中在媒介物中进行胺化,并且其中所述媒介物包含有机溶剂。
10.如权利要求8所述的方法,其中在降低的温度下进行胺化,并且其中所述降低的温度低于0℃。
11.如权利要求2至4中任一项所述的方法,其中胺化包括将所述1,1,1-三卤代二硅烷和所述胺化剂组合以将所述1,1,1-三卤代二硅烷胺化,得到所述1,1,1-三(有机氨基)二硅烷化合物。
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