[发明专利]改善的用于电子显微镜的导引

权利要求书

1.一种用于在显微镜中分析样品的方法，所述方法包括：

使用第一检测器和与所述第一检测器不同的第二检测器来获取一系列复合图像帧，其中，获取复合图像帧包括：

a)使带电粒子束撞击样品的区域内的多个位置，所述区域与经配置的显微镜视场对应，所述显微镜被配置为具有一组显微镜条件，

b)根据经配置的显微镜条件，使用所述第一检测器监控在所述样品内在所述多个位置生成的第一组所得粒子，以获得第一图像帧，

c)根据经配置的显微镜条件，使用所述第二检测器监控在所述样品内在所述多个位置生成的第二组所得粒子，以获得第二图像帧，其中，每个图像帧包括多个像素，所述多个像素与所述区域内的多个位置对应，并具有从在所述区域内的所述多个位置处生成的被监控的粒子得到的值，

d)针对所述第二图像帧的每个像素，

如果经配置的显微镜视场与该系列中紧接的前一个复合图像帧的显微镜视场不同，则使用所述像素的值来替换存储的第二图像帧中的对应像素的值；或者

如果经配置的显微镜视场与该系列中紧接的前一个复合图像帧的显微镜视场相同，则将所述像素的值与所述存储的第二图像帧中的对应像素的值组合，以通过以下方式来提高针对所述存储的第二图像帧中的所述对应像素的信噪比：信号平均化或信号累积、或卡尔曼递归滤波或者对测量求和并根据测量的次数改变亮度等级，以及

e)将所述第一图像帧与所述存储的第二图像帧组合以生成所述复合图像帧，使得所述复合图像帧针对所述多个像素中的每一个提供从所述区域内的对应位置处生成并通过所述第一检测器和所述第二检测器中的每一个监控的粒子得到的数据；以及在视觉显示器上实时显示该系列复合图像帧，

其中，同时执行步骤b)和步骤c)，以及

其中，所述视觉显示器被更新以示出序列中的每个复合图像帧，以允许观察者在改变所述视场时识别感兴趣的潜在特征。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一检测器是电子检测器。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中，所述第一检测器适用于监控所得粒子，所述所得粒子提供包括关于所述样品的区域的形貌信息以及样品材料原子数信息中的一者或两者的数据。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中，所述第二检测器是X射线光谱仪、电子衍射图案照相机、电子能量损失光谱仪或阴极发光检测器中的任意一种。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中，监控所述第二组粒子以获得所述第二图像帧包括：从所述第二检测器得到两个或更多个不同类型的信号，以获得与所述信号中的每一个对应的子图像帧，其中，将所述第一图像帧与所述第二图像帧组合包括将所述第一图像帧与所述子图像帧中的一个或多个组合。

6.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中，监控所述第二组粒子以获得所述第二图像帧包括：

监控所述第二组粒子的两个或多个子组，以获得与所述子组中的每一个对应的子图像帧，所述子组中的每一个与不同的粒子能量范围对应，

其中，每个子图像帧包括多个像素，所述多个像素与所述区域内的多个位置对应，并且从对应的子组包括的并在所述区域内的多个位置处生成的被监控到的粒子得到，并且

将所述子图像帧组合在一起以生成所述第二图像帧，使得所述第二图像帧针对所述多个像素中的每一个提供数据，所述数据从所述区域内的对应位置生成并包括所述子组中的每一个的粒子得到。

7.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中，实时显示该系列复合图像帧包括：针对每个复合图像帧，在获得对应的第一图像帧和第二图像帧与所述复合图像在所述视觉显示器上显示之间的逝去时间少于1秒。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述逝去时间少于0.3秒。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述逝去时间少于0.05秒。