[发明专利]自动缺陷分类

说明书

提供一种用于自动缺陷分类的方法，该方法包括(i)通过第一相机获取对象的至少一个区域的至少一个第一图像；(ii)处理所述至少一个第一图像以检测在所述至少一个区域内的疑似缺陷的组；(iii)进行第一分类过程以初始分类所述疑似缺陷的所述组；(iii)确定所述疑似缺陷的第一子组是否需要来自第二相机的附加信息以完成分类；(iv)当确定所述疑似缺陷的所述第一子组需要来自所述第二相机的附加信息时，则：(a)通过所述第二相机获取所述疑似缺陷的所述第一子组的第二图像；以及(b)进行第二分类过程以分类所述疑似缺陷的所述第一子组。

交叉引用

本申请要求2017年6月14日提交的美国临时专利序列号62/519516的优先权。

背景技术

对每一个行业来说，高收益率是保持竞争力的关键，尤其是在高度发展的微电子行业。每一个产量分数都会对生产阶段的盈亏能力产生重大影响。

为了保持并不断提高产量，工厂必须投资于用于(QA)质量保证目的(哪个管芯是好和哪个管芯是坏的)和过程控制的检查。

一种有效的过程控制系统可以在早期阶段识别出异常并由此防止恶化，并使工程人员能够执行纠正措施。

纠正措施越快，工厂的损失就越小。

发明内容

提供一种用于自动缺陷分类的方法，该方法包括(i)通过第一相机获取对象的至少一个区域的至少一个第一图像；(ii)处理所述至少一个第一图像以检测在所述至少一个区域内的疑似缺陷的组；(iii)进行第一分类过程以初始分类所述疑似缺陷的所述组；(iii)确定所述疑似缺陷的第一子组是否需要来自第二相机的附加信息以完成分类；(iv)当确定所述疑似缺陷的所述第一子组需要来自所述第二相机的附加信息时，则：(a)通过所述第二相机获取所述疑似缺陷的所述第一子组的第二图像；以及(b)进行第二分类过程以分类所述疑似缺陷的所述第一子组。

附图说明

结合附图，从以下详细描述中更充分地理解和理解本发明：

图1示出了方法的实例；

图2示出了系统的实例；

图3示出了系统的实例；

图4示出了系统的实例；

图5示出了参考图像的生成的实例；

图6示出了缺陷检测过程的实例；

图7示出了凸起及其周边的俯视图，以及沿假想线的像素的灰度级分布；

图8示出了凸起及其周边以及用于提取凸起的参数的各种处理步骤的图像；

图9示出了不同配方规则的实例；以及

图10示出了各种确定规则。

具体实施方式

由于实施本发明的装置大部分由本领域技术人员已知的光学部件和电路组成，因此为了理解和了解本发明的基本概念并且为了不使本发明的教导混淆或分散注意力，对电路细节的解释将不比上述认为必要的范围大，。

在下面的说明书中，将参考本发明实施例的具体实例来描述本发明。然而，显而易见的是，在不脱离所附权利要求中所述的本发明的更广泛的精神和范围的情况下，可以对其进行各种修改和改变。

检查机可以检查各种缺陷和异常。然而，为了有明确的因果关系，需要对异常(缺陷)进行分类。

例如，缺陷可以由有缺陷的CMP工艺、蚀刻或污染问题引起。缺陷分类过程可在不同的缺陷间进行区分。

虽然可以执行手动分类过程，但它既慢又昂贵。