[发明专利]硬PZT陶瓷、压电多层部件和制造压电多层部件的方法

权利要求书

1.一种硬锆钛酸铅（PZT）陶瓷，具有ABO₃结构，所述结构包括A位置和B位置，其中所述PZT陶瓷在所述B位置上掺杂了Mn和Nb，并且比例1.4Nb/Mn2，以及具有通式

，

其中A_xA包括掺杂元素Al_xAl到Aa_xAa，a是在所述A位置上的掺杂元素的数量，并且，

其中B_xB包括掺杂元素B1_xB1到Bb_xBb，b是在所述B位置上的掺杂元素的数量，并且，

A1至Aa彼此独立地选自由Na和/或K构成的组，

B1至Bb是Cu，

x是各自元素的份额，

1.2，

0.4y0.6，

对于A1至Aa的每个，0.0001xA0.05，

对于B1到Bb的每个，0.0001xB0.05，以及

0＜z0.25。

2.根据权利要求1所述的PZT陶瓷，其中xMn＝（l+z）/3和xNb＝（2-z）/3，并且以下适用：

，和

。

3.一种压电多层部件，具有陶瓷层和布置在陶瓷层之间的至少两个电极的堆叠，其中所述陶瓷层包含根据前述权利要求之一所述的硬PZT陶瓷。

4.根据权利要求3所述的多层部件，其中，所述至少两个电极包含元素铜。

5.根据权利要求3或4之一所述的多层部件，其是压电变压器。

6.根据权利要求5所述的多层部件，其中，所述压电变压器是等离子发生器。

7.一种用于制造根据权利要求3至6之一所述的压电多层部件的方法，具有以下步骤：

-以化学计量比制造粉末状原始混合物，所述原始混合物包含原始物质，所述原始物质包括Pb、Zr、Ti、Mn、Nb、来自Na和K的组中的至少一种以及Cu的氧化物和/或碳酸盐，

-由所述原始混合物制造生坯薄膜，

-将生坯薄膜和电极层交替地堆叠，以及

-烧结该堆叠。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，在来自900℃至1000℃的范围的温度下进行烧结。

9.根据权利要求7或8之一所述的方法，其中在惰性气体气氛中进行烧结。