[发明专利]换能器及其制造方法

权利要求书

1.一种静电电容型传感器(1、10、11、12、13、14、15、16、17)的制造方法，该静电电容型传感器(1、10、11、12、13、14、15、16、17)具备第一电极片(21、121、221、321、421)、电介质层(23)和第二电极片(22)，并利用检测电路(925)将所述第一电极片(21、121、221、321、421)和所述第二电极片(22)电连接来检测对所述第一电极片(21、121、221、321、421)的接触或接近，其中，

所述制造方法包括如下工序：

通过对利用将第一电极片(21、121、221、321、421)、作为电介质层(23)的原料的热塑性材料、和第二电极片(22)依次层叠而形成的层叠体从所述第一电极片(21、121、221、321、421)的第一外表面(21c)侧进行加压及加热，从而将所述第一电极片(21、121、221、321、421)埋设于熔融了的所述电介质层(23)的第一面侧，在封堵了所述第一电极片(21、121、221、321、421)所具备的多个第一贯通孔(21a)的状态下，将所述第一电极片(21、121、221、321、421)与所述电介质层(23)接合，通过对所述层叠体从所述第二电极片(22)的第二外表面(22c)侧进行加压及加热，从而将所述第二电极片(22)埋设于熔融了的所述电介质层(23)的第二面侧，在封堵了所述第二电极片(22)所具备的多个第二贯通孔(22a)的状态下，将所述第二电极片(22)与所述电介质层(23)接合。

2.根据权利要求1所述的静电电容型传感器(1、10、11、12、13、14、15、16、17)的制造方法，其中，

所述第一电极片(21、121、221、321、421)能够沿面方向伸缩，

由所述第一电极片(21、121、221、321、421)以及所述电介质层(23、323)构成的静电片能够沿面方向伸缩。

3.根据权利要求1所述的静电电容型传感器(1、10、11、12、13、14、15、16、17)的制造方法，其中，所述第一电极片(21、121、221、321、421)的多个所述第一贯通孔(21a)的最小开口长度为150μm以上。

4.根据权利要求1所述的静电电容型传感器(1、10、11、12、13、14、15、16、17)的制造方法，其中，所述第一电极片(21、121、221、321、421)的多个所述第一贯通孔(21a)的开口面积为6400μm²以上。

5.根据权利要求1所述的静电电容型传感器(10、11、12、13、14)的制造方法，其中，

所述第一电极片(21、121、221、321、421)还具备狭缝(121d、221d、321d、421d1、421d2、421d3)，所述狭缝(121d、221d、321d、421d1、421d2、421d3)形成为比所述第一贯通孔(21a)的开口长度长并且通过扩展变形而允许所述第一电极片(21、121、221、321、421)向主方向伸展，

所述电介质层(23、323)填充于所述狭缝(121d、221d、321d、421d1、421d2、421d3)的部分，并随着所述狭缝(121d、221d、321d、421d1、421d2、421d3)向所述主方向(A)的扩展变形而在所述主方向(A)上伸展。

6.根据权利要求5所述的静电电容型传感器(10、11、12、13、14)的制造方法，其中，所述第一电极片(21、121、221、321、421)在所述主方向(A)上具备多个所述狭缝(121d、221d、321d、421d1、421d3)。

7.根据权利要求5所述的静电电容型传感器(10、11、12、13、14)的制造方法，其中，所述狭缝(121d、221d、321d、421d1、421d3)在相对于所述主方向(A)而具有角度的方向上延伸。