[发明专利]柔性器件用基板的制造方法

说明书

本发明的目的是提供可获得在维持耐热性优异，延迟低，柔软性优异，进一步透明性也优异这样的优异性能的同时，能够从玻璃载体容易剥离的具有作为柔性显示器基板等柔性器件基板的基膜的优异性能的塑料薄膜的树脂薄膜叠层体的形成方法。一种方法，是树脂薄膜叠层体的制造方法，其特征在于，使用含有耐热性聚合物和有机溶剂的剥离层形成用组合物在支持基材上形成剥离层后，使用含有耐热性聚合物和有机溶剂的树脂薄膜形成用组合物，在该剥离层上形成树脂薄膜，接着，使剥离层与树脂薄膜为一体而从支持基材剥离，该方法的特征在于，实质上仅在树脂薄膜形成用组合物中进一步含有由通过氮吸附法测定的比表面积值算出的平均粒径为100nm以下的二氧化硅粒子。

技术领域

本发明涉及成为柔性器件用基板、特别是柔性显示器等的柔性印刷基板的基膜的树脂薄膜叠层体的制造方法，进一步详细而言涉及在支持基板上叠层了具有透明性的叠层体的耐热性聚合物叠层体。

背景技术

近年来，随着液晶显示器、有机电致发光显示器等电子设备的迅速进步，要求器件的薄型化、轻量化、以及柔性化。

在这些器件中，在玻璃基板上形成了各种电子元件，例如，薄膜晶体管、透明电极等，但期待通过将该玻璃材料替换成柔软并且轻量的树脂材料，来实现器件本身的薄型化、轻量化、柔性化。

作为这样的树脂材料的候选，聚酰亚胺受到关注，进行了与聚酰亚胺膜有关的各种报导。

例如，专利文献1涉及与作为柔性显示器用塑料基板有用的聚酰亚胺、及其前体有关的发明，报导了使环己基苯基四甲酸等那样的包含脂环式结构的四羧酸类与各种二胺反应而得的聚酰亚胺的透明性和耐热性优异。

此外，在专利文献2中，通过在聚酰亚胺中添加二氧化硅溶胶，从而改善作为以往塑料基板的缺点的、无法兼有线膨胀系数、透明性和低双折射率，可以充分期待向柔性显示器用塑料基板的应用。

另一方面，在追求塑料基板的优点的情况下成为问题的是塑料基板本身的操作性、尺寸稳定性。即，如果使塑料基板为膜状使其薄，则难以防止褶皱、裂缝的发生，难以维持将薄膜晶体管(TFT)、电极等功能层进行叠层形成时的位置精度、形成功能层后的尺寸精度。因此，在非专利文献1中，提出了对涂布在玻璃上而粘着了的塑料基板形成规定功能层后，从玻璃侧照射激光，将具备功能层的塑料基板从玻璃强制分离的方法(所谓激光剥离工艺(被称为EPLaR法(Electronics on Plastic by Laser Release)的方法)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-231327号公报

专利文献2：国际公开第2015/152178号

非专利文献

非专利文献1：E.I.Haskal et.al.“Flexible OLED Displays Made with theEPLaR Process”,Proc.Eurodisplay’07,pp.36-39(2007)

发明内容

发明所要解决的课题

上述的非专利文献1所记载的技术是，使用玻璃作为支持基材，在固定于玻璃的塑料基板上形成功能层，从而确保树脂基板的操作性、尺寸稳定性。然而该EPLaR法(激光剥离法)是在将树脂基板从支持基材分离时，将树脂基板与支持基材的界面通过激光照射进行破坏的方法，因此具有因为激光的冲击而照射部周边的功能层(TFT等)损伤的问题、树脂基板本身大大损伤而透射率降低的问题等，可能使树脂基板和其上形成的功能层的特性恶化。