[发明专利]光学头、光学头扫描装置和驱动光学头扫描装置的方法有效
| 申请号: | 201880032766.4 | 申请日: | 2018-03-19 |
| 公开(公告)号: | CN110636944B | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
| 发明(设计)人: | 大鸟居英 | 申请(专利权)人: | 索尼半导体解决方案公司 |
| 主分类号: | B41J2/447 | 分类号: | B41J2/447;B41J2/45;B41J2/455;G03F7/20;H01L31/10;H01L33/00 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴孟秋 |
| 地址: | 日本国神奈川*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光学 扫描 装置 驱动 方法 | ||
[解决手段]光学头包括基底衬底和行式头。行式头包括电学上彼此独立并且与第一方向平行地布置在基底衬底上的多个次行式头。多个次行式头的每一个包括电路衬底单元和光学元件阵列,该电路衬底单元构成基底衬底的一部分,该光学元件阵列包括多个光学元件,该多个光学元件各自至少与第二方向,即该多个次行式头的每一个的长度的方向,平行地布置在电路衬底上。
技术领域
本技术涉及一种包括光学元件阵列的光学头、包括该光学头的光学头扫描装置和驱动该光学头扫描装置的方法。
背景技术
专利文献1中公开的成型装置包括例如可旋转工作板、曝光头单元和滚筒。该成型装置使用具有曲面的透明滚筒作为在成型期间调节光固化性树脂的液面的机构。曝光头单元(照射单元)包括一维LED(发光二极管)阵列作为多个固态发光元件(例如,参见说明书第[0037]段和图2)。
专利文献2中公开的光扫描装置包括半导体激光器,其中采用包括多个激光发光部的表面发光VCSEL(垂直空腔表面发射激光器二极管)作为半导体激光器(例如,参见说明书第[0058]段和图1、3和4)。
引用列表
专利文献
专利文献1:日本专利申请特开号2015-120261
专利文献2:日本专利申请特开号2004-287292
发明内容
技术问题
当生产包括多个发光元件的光学头时,需要生产其中所有发光元件都无缺陷的产品,即,没有死像素的产品。然而,近年来,由于点间距被制造的更窄,需要在更精确的位置实施发光元件,这样导致生产的困难。因此,存在产出率下降的问题。
本公开的目的是提供一种光学头、光学头扫描装置和驾驶光学头扫描装置的方法,该光学头和光学头扫描装置使得可以实现更精确的点的定位并且在保持无缺陷的同时提高生产产出率。
问题的解决方案
为了实现如上所述的目的,根据一个实施方式的光学头包括基底衬底和行式头(line head)。
行式头包括电学上彼此独立并且平行于第一方向布置在基底衬底上的多个次行式头。
多个次行式头的每一个包括电路衬底单元和光学元件阵列,该电路衬底单元构成基底衬底的一部分,该光学元件阵列包括多个光学元件,该多个光学元件各自至少平行于第二方向,即该多个次行式头的每一个的长度的方向,布置在电路衬底上。
由于多个次行式头平行于第一方向布置,因此,例如,该多个次行式头可以实质上用作一个行式头。换言之,即使光学元件中存在缺陷,这种缺陷也可以在多个次行式头之间得到补充。这使得能够在保持最终产品的光学头的无缺陷的同时提高生产产出率。进一步地,由于光学元件阵列布置在构成基底衬底的一部分的电路衬底单元上,所以可以实现对于光学元件阵列的更高精度的点的定位。
光学元件阵列可以配置为使得多个光学元件以交错排列而设置。与仅在第二方向上布置多个光学元件的情况相比,这样使得可以例如设计具有更大直径的透镜。
该电路衬底单元可以包括多个驱动器衬底元件,该多个驱动器衬底元件各自对应于多个光学元件的每一个平行于第二方向布置。
该电路衬底单元可以包括多个驱动器衬底元件,该驱动器衬底元件各自对应于多个光学元件的每一个平行于第二方向布置。多个驱动器衬底元件的每一个可以形成为在第一方向上是长的。
基底衬底可以由半导体衬底构成,并且该多个驱动器衬底元件可以与该半导体衬底集成。
精密的电路衬底单元通过半导体制造工艺而形成。
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