[发明专利]光学头、光学头扫描装置和驱动光学头扫描装置的方法有效

专利信息
申请号: 201880032766.4 申请日: 2018-03-19
公开(公告)号: CN110636944B 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 大鸟居英 申请(专利权)人: 索尼半导体解决方案公司
主分类号: B41J2/447 分类号: B41J2/447;B41J2/45;B41J2/455;G03F7/20;H01L31/10;H01L33/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 吴孟秋
地址: 日本国神奈川*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 光学 扫描 装置 驱动 方法
【权利要求书】:

1.一种光学头,其包含:

基底衬底;和

行式头,该行式头包括电学上彼此独立并且平行于第一方向布置在所述基底衬底上的多个次行式头,所述多个次行式头的每一个包括电路衬底单元和光学元件阵列,所述电路衬底单元构成所述基底衬底的一部分,所述光学元件阵列包括多个光学元件,该多个光学元件各自至少平行于第二方向,即所述多个次行式头的每一个的长度的方向,布置在所述电路衬底单元上;

所述光学元件阵列配置为使得所述多个光学元件以交错排列而设置;

所述电路衬底单元包括多个驱动器衬底元件,该多个驱动器衬底元件各自对应于所述多个光学元件的每一个平行于所述第二方向布置,并且

所述多个驱动器衬底元件的每一个形成为在所述第一方向上是长的,其中,所述多个驱动器衬底元件的每一个形成为在第一方向上的长度比第二方向上的长度长。

2.根据权利要求1的光学头,其中

所述基底衬底由半导体衬底构成,并且

所述多个驱动器衬底元件与所述半导体衬底集成。

3.根据权利要求1的光学头,其中

所述行式头包括透镜阵列,该透镜阵列包括多个透镜,该多个透镜各自布置在与所述多个光学元件的每一个相对应的位置上。

4.根据权利要求3的光学头,其中

设置多个所述透镜阵列并且构成准直光学系统。

5.根据权利要求1的光学头,其中

所述行式头包括布置在所述多个光学元件上并且包括梯度折射率透镜的透镜阵列。

6.根据权利要求1的光学头,进一步包含

接口,该接口配置为使得将表示在所述多个光学元件中被无效化的至少一个光学元件的数据输入所述电路衬底单元的每一个。

7.根据权利要求1的光学头,其中

设置多个所述行式头并且构成表面发光部或者表面受光部。

8.一种光学头扫描装置,其包含:

根据权利要求1至7中任一项所述的光学头;

扫描机构,其平行于所述第一方向扫描所述光学头;以及

控制器,其使用表示在所述多个光学元件中被无效化的至少一个光学元件的数据控制所述光学头和所述扫描机构的驱动,使得所述多个次行式头实质上用作一个行式头。

9.根据权利要求8的光学头扫描装置,其中

所述控制器配置为使用在所述第二方向上与所述多个次行式头中第一次行式头的有缺陷的光学元件的位置相同的位置处布置的正常的光学元件,所述正常的光学元件为第二次行式头的光学元件。

10.根据权利要求8的光学头扫描装置,其中

设置多个所述行式头并且构成表面发光部或者表面受光部。

11.一种驱动光学头扫描装置的方法,所述光学头扫描装置包括如权利要求1至7中任一项所述的光学头和平行于第一方向扫描所述光学头的扫描机构,

所述方法包含以下步骤:

生成表示在所述多个光学元件中被无效化的至少一个光学元件的数据;以及

使用获取的所述数据控制所述光学头和所述扫描机构的驱动,使得所述多个次行式头实质上用作一个行式头。

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