[发明专利]借助金属浆料来连接器件的方法在审
申请号: | 201880026922.6 | 申请日: | 2018-02-07 |
公开(公告)号: | CN110545945A | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | W·施米特;M·沙福尔;S·K·杜赫;周莉美;J·纳赫赖纳;D·策希;J·韦尔;J·韦伯 | 申请(专利权)人: | 贺利氏德国有限两合公司;贺利氏特种光源有限公司 |
主分类号: | B22F7/06 | 分类号: | B22F7/06;B23K35/02;H01L21/67 |
代理公司: | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 刘锋<国际申请>=PCT/EP2018/ |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属浆料 夹层 峰值波长 加压烧结 连接器件 器件连接 有机溶剂 波长 配置 照射 制造 | ||
1.一种连接器件的方法,包括以下步骤:
(1)将含有有机溶剂的金属浆料施覆至第一器件的接触面,
(2)视情况将所述金属浆料施覆至需要与所述第一器件连接在一起的第二器件的接触面,
(3)对施覆至所述第一器件的接触面和视情况施覆至所述第二器件的接触面的金属浆料进行干燥,
(4)用所述两个器件及位于其间的经干燥的金属浆料制造夹层配置,以及
(5)对包括由经干燥的金属浆料构成的层的夹层配置进行加压烧结,
其特征在于,通过用具有波长范围为750至1500nm的峰值波长的IR辐射进行照射来实施所述干燥。
2.根据权利要求1所述的方法,其中所述器件的接触面积为1至150mm2。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述器件选自由衬底、有源器件和无源器件组成的群组。
4.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中在步骤(1)中和视情况步骤(2)中所施覆的金属浆料含有25至90wt%的可烧结金属粒子,5至30wt%的有机溶剂,0至65wt%的金属前驱体化合物,0至5wt%的烧结助剂和0至5wt%的其他添加剂。
5.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中在步骤(3)期间,将所述金属浆料中最初所含的有机溶剂的95至100wt%移除。
6.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中所述峰值波长在750至1200nm的波长范围内。
7.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中单凭用所述IR辐射进行照射来引起所述干燥。
8.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中将一或多个工作功率为15至100W/cm的NIR辐射器用作进行所述IR辐射的辐射源。
9.根据权利要求8所述的方法,其中所述NIR辐射器的辐射器表面温度为1800至3000℃。
10.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中所述IR辐射源的辐射出射面与待干燥金属浆料的层间的距离为1至50cm。
11.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中步骤(3)中的干燥耗时0.5至3分钟。
12.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中在含氧或无氧气氛中实施步骤(3)和/或步骤(5),其中在两种情形下,所述器件中的一个或两个可以具有易氧化接触面。
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