[发明专利]一种柔性薄膜太阳电池及其制造方法

权利要求书

1.一种柔性薄膜太阳电池，包括柔性薄膜衬底、柔性薄膜衬底上的一个外延层结构、位于所述外延层结构和柔性薄膜衬底之间的下电极以及位于所述外延层结构之上的上电极，其特征在于：还包括所述外延层结构上的贯穿过孔、通过贯穿过孔与所述下电极相连的贯穿电极、至少包覆贯穿过孔侧壁并位于贯穿电极和所述外延层结构上表面之间的绝缘层结构，所述绝缘层结构将贯穿电极与所述外延层的侧壁和上表面绝缘；所述贯穿电极与上电极包括位于外延层同侧的焊盘结构。

2.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述柔性薄膜太阳电池的外延层厚度小于15um。

3.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述外延层结构还包括外延生长衬底。

4.根据权利要求3所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述外延生长衬底的厚度小于10um，贯穿过孔贯穿外延生长衬底。

5.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述柔性薄膜太阳电池的贯穿电极焊盘结构位于绝缘层结构上；贯穿电极的非焊盘结构区域下方包括贯穿过孔。

6.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述柔性薄膜太阳电池的绝缘层结构包括SiO₂、SiN_x、Al₂O₃、MgF₂、Ti₃O₅单层或多层膜结构。

7.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：绝缘层结构的材料与减反膜材料相同。

8.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述柔性薄膜衬底为非导电性衬底。

9.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述柔性薄膜衬底为聚合物柔性薄膜衬底。

10.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：聚合物柔性薄膜衬底为PET、PI、PMMA中的至少一种制成。

11.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述柔性薄膜太阳电池包含单结或多结GaAs基、Ge基构成的三五族电池、硅基电池、铜铟镓硒、铜锌锡硫、碲化镉、有机电池、染料敏化电池、量子点电池或以上任何二种以上电池的复合型电池。

12.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述柔性薄膜太阳电池的柔性薄膜衬底厚度小于150um。

13.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述柔性薄膜太阳电池上电极、下电极和贯穿电极的至少一种电极采用金属或透明导电材料组成，透明导电材料包括ITO、IZO、GTO、TCO。

14.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：其中贯穿电极的非焊盘区域和/或上电极采用透明导电材料制成，使贯穿过孔的侧壁及电池表面入射更多光线，从而提高电池效率。

15.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池，其特征在于：所述柔性薄膜太阳电池形成的组件，其连接形式为将贯穿电极焊盘与另外一颗太阳电池上电极焊盘电性连接，不需从下电极处引线焊接。