[发明专利]成膜方法、成膜装置、元件结构体的制造方法及元件结构体的制造装置

说明书

本发明的成膜方法通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，所述成膜方法以补偿所述树脂材料的气化率的方式控制成膜条件，所述树脂材料的气化率与作为供给到所述加热部的所述树脂材料的量的合计的气化累计量相应地减少。

技术领域

本发明涉及一种成膜方法、成膜装置、元件结构体的制造方法及元件结构体的制造装置，特别是涉及一种适于制造元件结构体的技术，该元件结构体具有从氧气或水分等中保护器件等的层叠结构。

本申请基于2017年2月21日在日本申请的专利申请2017-030318号要求优先权，并且在此援引其内容。

背景技术

作为包含具有因水分或氧气等而容易变差性质的化合物的元件，例如已知有有机EL(Electro Luminescence，电致发光)元件等。关于这种元件，尝试通过形成经层叠包含化合物的层和覆盖该层的保护层而成的层叠结构来抑制水分等向元件内侵入。例如，在下述专利文献1中记载了发光元件，该发光元件在上部电极层上具有由无机膜和有机膜的层叠膜形成的保护膜。

专利文献1：日本专利公开2013-73880号公报

作为上述有机膜，可使用丙烯酸树脂等。作为有机膜的成膜方法，正在研究如下的方法：即，通过对树脂材料进行气化并供给，在基板上使树脂材料液化，并且对树脂材料照射UV光，从而使树脂材料聚合以形成树脂膜。然而，在对树脂材料进行气化时，有时树脂材料在气化器中不完全蒸发而树脂材料液残留在加热部中，或者因加热而发生树脂材料的固化。因此，存在如下的问题：即，随时间经过而气化效率变差，在向气化器供给的树脂材料的供给量恒定的情况下，从气化器供给到成膜室的蒸气供给量也逐渐减少，沉积速率(成膜率)逐渐变差。特别是，存在若处理时间变长则因气化效率的降低而成膜状态不稳定的问题。

另外，由于充分的树脂材料的蒸气未供给到成膜装置而有可能无法充分地进行成膜。在该情况下，具有如下的问题：即，在具有器件层的基板表面上形成有凹凸等时，无法充分覆盖该凹凸，例如有可能在凹凸的边界部发生覆盖不良。如果发生这种无机膜的被覆不良，则由于无法阻止水分从发生覆盖不良的部位侵入，因此难以确保充分的阻隔性。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而提出的，想要实现以下至少一个目的。

1、改善树脂材料蒸气的供给状态。

2、防止因供给量下降引起的成膜缺陷。

3、稳定成膜速率。

4、确保阻隔性。

本发明的第一方式的成膜方法通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，所述成膜方法以补偿所述树脂材料的气化率的方式控制成膜条件，所述树脂材料的气化率与作为供给到所述加热部的所述树脂材料量的合计的气化累计量相应地减少。

在本发明的第一方式的成膜方法中，所述成膜条件也可以包括对每一张所述基板形成所述树脂材料膜的成膜时间或者喷雾到所述加热部的液状的树脂材料的每单位时间的供给量中的至少一种。

在本发明的第一方式的成膜方法中，所述加热部也可以具有倾斜面。

在本发明的第一方式的成膜方法中，所述树脂材料也可以是紫外线硬化型丙烯酸树脂材料。

本发明的第二方式的成膜装置通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，所述成膜装置具有：记录部，用于记录包含供给到所述加热部的树脂材料的累计量在内的气化运转数据；和控制部，通过参照所述气化运转数据，确定延长成膜时间的时间或者增加喷雾到所述加热部的所述液状的树脂材料的每单位时间的供给量的增加量中的至少一种。