[发明专利]低温泵

说明书

本发明的低温泵(10)具备：制冷机(16)，其具备高温冷却台及低温冷却台；放射屏蔽件(30)，其热连接于高温冷却台，且其从低温泵进气口沿轴向延伸为筒状；低温低温板部，其热连接于低温冷却台且被放射屏蔽件(30)包围，该低温低温板部具备沿轴向排列的多个低温板(60)，所述多个低温板(60)包括最靠近低温泵进气口而配置的顶部低温板(60a)；及入口低温板(32)，其热连接于高温冷却台，入口低温板(32)配置于低温泵进气口并且形成顶部低温板容纳分区(74)。

技术领域

本发明涉及一种低温泵。

背景技术

低温泵为通过冷凝或吸附捕将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。作为低温泵的应用之一，例如存在像离子注入工艺那样的例如氢气等非冷凝性气体占据应排出气体的大半部分的情况。关于非冷凝性气体，吸附于冷却至超低温的吸附区域方可被排出。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-237262号公报

专利文献2：日本特表2008-514849号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

通常，在低温泵的进气口配置有冷却至第1冷却温度的高温低温板。高温低温板的一个作用在于，抑制热量输入到冷却为比第1冷却温度更低的第2冷却温度的低温低温板。排出非冷凝性气体为主要用途的低温泵采用比较小型的高温低温板。此时，被高温低温板覆盖的进气口面积比较小，因此，通过进气口而入射至低温低温板的非冷凝性气体的流量会增加，能够提高非冷凝性气体的排气速度。相反，高温低温板的小型化能够增加输入于低温低温板的热量。典型的高温低温板使用百叶窗，然而，还是无法忽视通过百叶窗板之间的间隙而输入于低温低温板的热量。

本发明的一种实施方式的例示性的目的之一在于减少低温低温板的热负载并且提高基于低温低温板的排气速度。

用于解决技术课题的手段

根据本发明的一种实施方式方式提供一种低温泵，其具备：制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，且其从低温泵进气口沿轴向延伸为筒状；低温低温板部，其与所述低温冷却台热连接且被所述放射屏蔽件包围，所述低温低温板部具备沿轴向排列的多个低温板，所述多个低温板包括最靠近所述低温泵进气口而配置的顶部低温板；及顶部低温板容纳低温板，其与所述高温冷却台热连接，所述顶部低温板容纳低温板配置于所述低温泵进气口并且形成顶部低温板容纳分区。

另外，在方法、装置、系统等之间相互替换本发明的构成要件或表现的方式也作为本发明的方式而有效。

发明效果

根据本发明，能够减少低温低温板的热负载并且能够提高基于低温低温板的排气速度。

附图说明

图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵的俯视图。

图2概略地表示图1所示的低温泵的A-A线截面。

图3是表示实施方式所涉及的低温板排列的一部分的概略立体图。

图4是用于说明图3所示的低温板排列的一部分中的气体分子的运动情况的概略图。

具体实施方式

以下，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。在说明及附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注相同符号，并适当省略重复说明。为了便于说明，在附图中适当设定各部的比例尺和形状，除非另有特别说明，其不作限定性解释。实施方式为示例，其并不对本发明的范围作任何限定。实施方式中记载的所有特征或其组合并不一定是发明的本质。