[发明专利]低温泵

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；

放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，且其从低温泵进气口沿轴向延伸为筒状；

低温低温板部，其与所述低温冷却台热连接且被所述放射屏蔽件包围，所述低温低温板部具备沿轴向排列的多个低温板，所述多个低温板包括最靠近所述低温泵进气口而配置的顶部低温板；及

顶部低温板容纳低温板，其与所述高温冷却台热连接，所述顶部低温板容纳低温板配置于所述低温泵进气口并且形成顶部低温板容纳分区，

所述顶部低温板容纳低温板具备：中心平板，与所述顶部低温板的上表面对置；及下方倾斜部，以相对于所述中心平板朝向轴向上的下方且径向上的外侧倾斜的方式从所述中心平板的外周延伸，并且包围所述顶部低温板的整个外周，

所述顶部低温板容纳分区为由所述中心平板和所述下方倾斜部划定的圆锥台状的空间。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述顶部低温板容纳低温板与所述顶部低温板靠近配置以完全阻断从所述低温泵的外部朝向所述顶部低温板的气体分子的直接入射。

3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

在所述低温低温板部的所述多个低温板中，只有所述顶部低温板容纳于所述顶部低温板容纳分区。

4.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述顶部低温板为平板。

5.一种低温泵，其特征在于，具备：

制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；

放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，且其从低温泵进气口沿轴向延伸为筒状；

低温低温板部，其与所述低温冷却台热连接且被所述放射屏蔽件包围，所述低温低温板部具备沿轴向排列的多个低温板，所述多个低温板包括最靠近所述低温泵进气口而配置的顶部低温板；及

顶部低温板容纳低温板，其与所述高温冷却台热连接，所述顶部低温板容纳低温板配置于所述低温泵进气口并且形成顶部低温板容纳分区，

所述低温低温板部的所述多个低温板包括在所述顶部低温板的轴向上的下方与其相邻配置的相邻低温板，所述相邻低温板具备：低温板中心部，与所述顶部低温板的下表面对置；及上方倾斜部，以相对于所述低温板中心部朝向轴向上的上方且径向上的外侧倾斜的方式从所述低温板中心部的外周延伸，

所述相邻低温板的所述上方倾斜部沿着所述顶部低温板容纳低温板的下方倾斜部而沿周向延伸，

在所述上方倾斜部与所述下方倾斜部之间形成有通向所述顶部低温板容纳分区的环状入口。