[发明专利]周期极化反转结构的制造方法

权利要求书

1.一种周期极化反转结构的制造方法，在具有第一主面和第二主面的强介电性晶体基板上制造周期极化反转结构，其特征在于，

所述周期极化反转结构的制造方法具有以下工序:

在所述强介电性晶体基板的所述第一主面上设置由多个电极片部构成的第一电极片部排列体的工序；

通过对所述第一电极片部排列体施加电压而形成第一周期极化反转结构的工序；

在相邻的多个所述第一周期极化反转结构之间设置由多个电极片部构成的第二电极片部排列体的工序；以及

通过对所述第二电极片部排列体施加电压而形成第二周期极化反转结构的工序，

在所述第二电极片部排列体的长度方向观察时，所述第一周期极化反转结构的端部和所述第二电极片部排列体的端部分开1mm～5mm。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述强介电性晶体基板的所述第一主面中，在所述电极片部间分别形成绝缘膜，在所述强介电性晶体基板的所述第二主面设置均匀电极，在所述电极片部和所述均匀电极之间施加所述电压。