[发明专利]样品回收装置、样品回收方法及使用它们的荧光X射线分析装置

权利要求书

1.一种荧光X射线分析装置，其特征在于，包括：

回收单元，随着向表面上存在被测量物的基板上滴下液滴，使滴下的所述液滴在所述基板表面上移动，将所述被测量物取入至所述液滴中；

干燥单元，使所述液滴干燥，使所述被测量物保持在所述基板的表面上；

分析单元，向所述被测量物照射X射线，基于从所述被测量物出射的荧光X射线对所述被测量物中包含的元素进行定量分析；

光束传感器，在回收所述被测量物后，使所述液滴干燥前，出射带状的激光，所述带状的激光检测从所述回收单元离开的所述液滴的量；以及

运算单元，根据所述光束传感器的检测结果计算用于校正所述液滴的量或所述被测量物的定量分析值的校正系数。

2.根据权利要求1所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述光束传感器被配置成：所述激光的行进方向相对于所述基板的表面平行地出射，并且，所述激光的激光带相对于所述基板的表面变为垂直的方向。

3.根据权利要求2所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述光束传感器为回归反射型光束传感器，由光束传感器本体和反射板组成，所述光束传感器本体具有出射激光的振荡器及接收激光的光接收器，所述反射板与所述光束传感器本体相对。

4.根据权利要求2所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述光束传感器为透射型光束传感器，由出射激光的振荡器和与所述振荡器相对配置的接收激光的光接收器组成。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

还具有移动机构，该移动机构使所述基板移动以使得所述液滴横穿所述带状激光。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

还具有旋转台，所述旋转台在向所述液滴出射激光时，使所述基板在水平面内旋转。

7.根据权利要求6所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述运算单元基于相关关系，根据所述光束传感器的检测结果来计算校正系数，

所述相关关系对应于从使所述基板在所述旋转台上旋转的中心到所述滴下的液滴的距离，

所述校正系数用于校正所述液滴的量或者所述被测量物的定量分析值。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

还具有警告通知单元，该警告通知单元当所述光束传感器的检测结果与根据所述滴下的液滴的量而设定的值的差量大于预先设定的值时通知警告。

9.一种样品回收装置，其特征在于，包括：

光束传感器，在随着向表面上存在被测量物的基板上滴下液滴，使所述滴下的液滴在所述基板表面上移动从而将所述被测量物取入至所述液滴中之后，向所述液滴出射带状的激光；以及

运算单元，根据所述光束传感器的检测结果计算用于校正所述液滴的量或所述被测量物的定量分析值的校正系数。

10.一种样品回收方法，其特征在于，包括如下步骤：

随着向表面上存在被测量物的基板上滴下液滴，使所述滴下的液滴在所述基板表面上移动从而将所述被测量物取入至所述液滴中之后，光束传感器向所述液滴出射带状的激光的步骤；以及

根据所述光束传感器的检测结果计算用于校正所述液滴的量或所述被测量物的定量分析值的校正系数的步骤。