[实用新型]太赫兹探测装置及其探针

说明书

本实用新型公开了一种太赫兹探测装置及其探针，该探针包括电极及探针本体，所述电极与所述探针本体的一端连接，所述探针本体的外周面设有第一保护层。通过上述方式，本实用新型能够使得其探针在具有粗糙表面的被成像介质上探测时也不容易被折断，且由于探针接收到的信号强度对粗糙表面不敏感，则保证接收信号强度不受探针与被成像介质的探测点之间的距离变化而剧烈影响，从而保证其成像信号的稳定，保持其成像品质。

技术领域

本实用新型涉及太赫兹探测领域，特别涉及一种太赫兹探测装置及其探针。

背景技术

现有的纳米级的显微需要一般采用原子力显微探针，其探针只是作为成像波束的能量引导，探针本身并不传输太赫兹波成像信号。探针针尖与被成像介质之间的距离依赖于探针与被成像介质之间的相互作用力控制，从而能够维持相对位置稳定。

而如果需要实现微米级的显微时，一般需要采用微米级的探针做扫描成像，且探针本身需要传输太赫兹波成像信号。当被测试介质表面比较粗糙时，基于扫描方式的太赫兹探针检测装置保持探针与被测试介质表面的距离恒定有困难，目前还没有一个很好的控制距离的方法，如图6所示，现有的探针20包括电极310与探针本体320，但是其探针本体320没有保护措施，且其电极310的周向只设有玻璃层330，导致探针容易折断，并且探针接收到的成像信号不稳定。

实用新型内容

本实用新型提供一种太赫兹探测装置及其探针，已解决现有技术探针容易折断的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是提供一种探针，该探针包括电极及探针本体，所述电极与所述探针本体的一端连接，所述探针本体的外周面设有第一保护层。

根据本实用新型一实施方式，所述探针本体的另一端设有第二保护层。

根据本实用新型一实施方式，所述第二保护层在面向所述探针本体的方向上的厚度为18～22微米。

根据本实用新型一实施方式，所述第一保护层还设置于所述电极的外周面。

根据本实用新型一实施方式，所述电极的外周面设有第三保护层。

根据本实用新型一实施方式，所述第一保护层在所述探针本体的周向上包覆于所述探针本体。

根据本实用新型一实施方式，所述第一保护层为柔性保护层。

根据本实用新型一实施方式，所述电极为金属电极，所述探针本体的材质为低温砷化镓。

根据本实用新型一实施方式，所述第一保护层的材质为PET。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的另一个技术方案是提供一种太赫兹探测装置，该太赫兹探测装置包括上述任一项所述的探针。

区别于现有技术，本实用新型提供一种太赫兹探测装置及其探针，通过对其探针的探针本体设置第一保护层，使得其探针在具有粗糙表面的被成像介质上探测时也不容易被折断，且由于探针接收到的信号强度对粗糙表面不敏感，则保证接收信号强度不受探针与被成像介质的探测点之间的距离变化而剧烈影响，从而保证其成像信号的稳定，保持其成像品质。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本实用新型提供的探针的一实施方式结构示意图；

图2是本实用新型提供的探针的另一实施方式结构示意图；

图3是本实用新型提供的探针的另一实施方式结构示意图；