[实用新型]一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具

说明书

本实用新型提供了一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，属于半导体设备制造的技术领域。一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具包括放置于密封腔上且两侧带有底座的支架，支架上设置有螺旋传动机构，螺旋传动机构的丝杆上设置有扳手，且在丝杆上还螺纹套设有撬片，撬片的一侧伸出支架与上部盖板的侧壁上的凹槽配合，结构简单；本实用新型通过设置支架和螺旋传动机构，将小扭矩转化成沿丝杆轴向的大的轴向力，解决了由于密封圈老化，上部盖板和密封腔粘合而难以开启的问题，同时，通过丝杆的自锁功能，能防止上部盖板撬开后自动回位，安全保障性更高，并且无需借助工具便可单人手动操作，操作便捷，实用性和使用效率更高，更利于行业的发展。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备制造的技术领域，具体是涉及一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具。

背景技术

对于密封设备而言，为保证其密封性，通常在其开口和盖之间设置有密封圈。蚀刻设备设置有密封腔，且密封腔通过上部盖板进行封口，且在密封腔和上部盖板之间设置有密封圈。在使用时，密封腔的腔体内温度维持在60℃的高温范围内，且腔体内部还存在等离子和腐蚀性气体，导致密封圈在长时间使用后，会在高温、等离子以及腐蚀性气体的作用下老化，从而使得上部盖板和密封腔粘合在一起，并且由于上部盖板本身质量为20KG，导致在维护保养时，上部盖板难以从密封腔上取下，给维护造成了较大的困难。虽然目前制造厂商提供了拆卸工具，但由于结构的限制，不仅重量中，而且操作复杂，还需要使用辅助工具再能完成操作，时间浪费严重，不利于行业的发展。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现旨在提供一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，以设置一可固定的支架，并于支架上设置螺旋传动机构，通过将支架固定于密封腔上，再将螺旋传统机构中的撬片伸入上部盖板侧边上的凹槽内，通过扭转螺旋传动机构实现撬片远离或靠近密封腔，从而带动上部盖板运动，从而实现上部盖板的拆卸，结构简单，质量轻，便于使用，且可一人手动操作，无需借助工具，便能轻松撬开上部盖板，效率更高，更利于行业发展。

具体技术方案如下：

一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，具有这样的特征，包括：支架和螺旋传动机构，其中，

支架一侧面形状呈“几”字形设置，支架包括底座、侧板以及顶板，底座设置有两个，且两底座间隔设置，并且每一底座上分别设置有一垂直的侧板，两侧板的顶部设置有顶板，顶板的两端分别连接于两侧板上，并且顶板的中间开设有一通孔；

螺旋传动机构包括丝杆、撬片以及扳手，丝杆一端穿过顶板上的通孔至顶板的下方，且丝杆穿过通孔的一端延伸至两底座形成的平面处，丝杆的轴线方向平行于侧板的同时还垂直于底座，并且丝杆上螺纹套设有一撬片，撬片位于顶板的下方，撬片的一侧伸出侧板的侧边，同时，在丝杆上且位于顶板的上方设置有扳手。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，每一底座上均开设有固定孔，固定孔与密封腔的上部接触面上的螺丝对应。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，撬片呈矩形的板状设置，且撬片设置于两侧板之间，撬片的对角线长度长于两侧板之间的距离长度。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，两侧板之间设置有加强板，加强板的两端分别连接于两侧板的侧边上，加强板的顶部连接于顶板的底面上，同时，加强板位于侧板背离撬片伸出的一侧。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，丝杆上套设有撬片的一端的端部设置有限位顶块，限位顶块的尺寸大于丝杆的直径尺寸。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，丝杆上且位于顶板的上方的侧壁上开设有一扳手孔，扳手孔沿丝杆径向贯穿丝杆。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，扳手呈棒状设置，扳手插设在丝杆的扳手孔中。