[实用新型]一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具

权利要求书

1.一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，包括：支架和螺旋传动机构，其中，

所述支架一侧面形状呈“几”字形设置，所述支架包括底座、侧板以及顶板，所述底座设置有两个，且两所述底座间隔设置，并且每一所述底座上分别设置有一垂直的所述侧板，两所述侧板的顶部设置有所述顶板，所述顶板的两端分别连接于两所述侧板上，并且所述顶板的中间开设有一通孔；

所述螺旋传动机构包括丝杆、撬片以及扳手，所述丝杆一端穿过所述顶板上的所述通孔至所述顶板的下方，且所述丝杆穿过所述通孔的一端延伸至两所述底座形成的平面处，所述丝杆的轴线方向平行于所述侧板的同时还垂直于所述底座，并且所述丝杆上螺纹套设有一所述撬片，所述撬片位于所述顶板的下方，所述撬片的一侧伸出所述侧板的侧边，同时，在所述丝杆上且位于所述顶板的上方设置有所述扳手。

2.根据权利要求1所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，每一所述底座上均开设有固定孔，所述固定孔与密封腔的上部接触面上的螺丝对应。

3.根据权利要求1所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，所述撬片呈矩形的板状设置，且所述撬片设置于两所述侧板之间，所述撬片的对角线长度长于两所述侧板之间的距离长度。

4.根据权利要求1所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，两所述侧板之间设置有加强板，所述加强板的两端分别连接于两所述侧板的侧边上，所述加强板的顶部连接于所述顶板的底面上，同时，所述加强板位于所述侧板背离所述撬片伸出的一侧。

5.根据权利要求1所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，所述丝杆上套设有所述撬片的一端的端部设置有限位顶块，所述限位顶块的尺寸大于所述丝杆的直径尺寸。

6.根据权利要求1所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，所述丝杆上且位于所述顶板的上方的侧壁上开设有一扳手孔，所述扳手孔沿所述丝杆径向贯穿所述丝杆。

7.根据权利要求6所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，所述扳手呈棒状设置，所述扳手插设在所述丝杆的所述扳手孔中。