[实用新型]一种宏微驱动跨尺度精密定位平台有效
申请号: | 201822157087.X | 申请日: | 2018-12-21 |
公开(公告)号: | CN209497402U | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 陈科纶;胡志平;朱军辉;孙钰;汝长海 | 申请(专利权)人: | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
主分类号: | H02N2/02 | 分类号: | H02N2/02;H02N2/04 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 曹成俊 |
地址: | 215100 江苏省苏州市相城*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电陶瓷驱动 运动部件 精密定位平台 运动部件移动 本实用新型 放大机构 宏微驱动 跨尺度 微位移 铰链 精密运动 组件设置 可用 放大 驱动 | ||
1.一种宏微驱动跨尺度精密定位平台,其特征在于:包括基座、运动部件、压电陶瓷驱动组件和微位移铰链放大机构,所述运动部件设置在所述基座上,所述压电陶瓷驱动组件设置在所述基座内并驱动所述运动部件移动,所述微位移铰链放大机构设置在所述运动部件和所述压电陶瓷驱动组件之间对所述压电陶瓷驱动组件产生的位移进行放大并作用在所述运动部件上使所述运动部件移动。
2.如权利要求1所述的一种宏微驱动跨尺度精密定位平台,其特征在于,所述压电陶瓷驱动组件包括相接触串联固定在所述基座内的宏压电陶瓷和微压电陶瓷。
3.如权利要求2所述的一种宏微驱动跨尺度精密定位平台,其特征在于,所述宏压电陶瓷和所述微压电陶瓷通过第一固定件与所述基座侧面相固定。
4.如权利要求3所述的一种宏微驱动跨尺度精密定位平台,其特征在于,所述宏压电陶瓷与所述基座侧面之间设有预紧铰链。
5.如权利要求4所述的一种宏微驱动跨尺度精密定位平台,其特征在于,所述微位移铰链放大机构和所述微压电陶瓷以及所述运动部件底部接触。
6.如权利要求5所述的一种宏微驱动跨尺度精密定位平台,其特征在于,所述微位移铰链放大机构与所述运动部件底部的接触面上设有陶瓷摩擦片。
7.如权利要求1所述的一种宏微驱动跨尺度精密定位平台,其特征在于,所述运动部件两侧的所述基座上均设有定位部件,所述定位部件与所述运动部件之间设有交叉滚子保持架。
8.如权利要求7所述的一种宏微驱动跨尺度精密定位平台,其特征在于,所述定位部件通过第二固定件固定在所述基座上。
9.如权利要求1所述的一种宏微驱动跨尺度精密定位平台,其特征在于,所述微位移铰链放大机构与所述基座一体成型。
10.如权利要求4所述的一种宏微驱动跨尺度精密定位平台,其特征在于,所述预紧铰链和所述基座一体成型。
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