[实用新型]一种电子聚焦辅助设备有效

专利信息
申请号: 201822144944.2 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN209119037U 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: 周鹏 申请(专利权)人: 甘肃纽科丽尔核技术应用有限公司
主分类号: H01J37/143 分类号: H01J37/143
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 730050 甘肃省兰州市七里河*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 永磁体 安装片 电子束通道 电子聚焦 盖体 本实用新型 辅助设备 一体设置 内壁 装配 电子束 插接配合 聚焦效果 散射现象 外侧设置 对齐 插接部 加强柱 收束
【说明书】:

本实用新型涉及电子聚焦技术领域,尤其涉及一种电子聚焦辅助设备,解决现有技术中存在的装配不便的缺点,包括外壳、盖体和永磁体,外壳的上部固定连接有盖体,盖体的上部设置有上电子束通道,外壳的底部设置有和上电子束通道对齐的下电子束通道,外壳的内部一体设置有环状的安装片,安装片的外侧一体设置有加强柱,安装片的内侧设置有多个永磁体,永磁体的内壁为向外突出的曲面,安装片的上部设置有阴插接部,永磁体的外侧设置有阳连接部,本实用新型将永磁体和外壳插接配合,使得永磁体和外壳的装配更加方便,而且永磁体的内壁为向外突出的曲面,收束效果更好,减轻了电子束的散射现象,使得聚焦效果更佳。

技术领域

本实用新型涉及电子聚焦技术领域,尤其涉及一种电子聚焦辅助设备。

背景技术

一束发散角不大的带电粒子束,在磁场的方向上具有大致相同的速度分量时,它们有相同的螺距,经过一个周期它们将重新会聚在另一点,这种发散粒子束会聚到一点的现象与透镜将光束聚焦现象十分相似,因此叫磁聚焦,一般来说,辅助电子聚焦是通过磁透镜来完成的,多用于扫描电镜。

现有的永磁透镜聚光镜一般由外壳和永磁体组成,根据磁透镜的种类不同,永磁体的数量不同,装配起来不方便,而且,永磁体一般为平板式,容易造成电子束散射,影响聚焦的效果。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的装配不便的缺点,而提出的一种电子聚焦辅助设备。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种电子聚焦辅助设备,包括外壳、盖体和永磁体,所述外壳的上部固定连接有盖体,所述盖体的上部设置有上电子束通道,所述外壳的底部设置有和上电子束通道对齐的下电子束通道,所述外壳的内部一体设置有环状的安装片,所述安装片的外侧一体设置有加强柱,所述安装片的内侧设置有多个永磁体,所述永磁体的内壁为向外突出的曲面,所述安装片的上部设置有阴插接部,所述永磁体的外侧设置有阳连接部,且阴连接部和阳连接部相配合。

优选的,所述盖体的上部一体设置有连接部,且外壳和连接部通过紧固销连接。

优选的,所述外壳和安装片之间填充有屏蔽填料,且屏蔽填料为导电橡胶、导电泡棉和导电布中的一种。

优选的,所述安装片的上部开设有多个插接孔,所述永磁体的外侧一体设置有插块,且插接孔和插块相匹配。

优选的,所述插接孔呈十字形或矩形。

优选的,所述安装片的内侧开设有多个竖直的插接槽,所述永磁体的外侧一体设置有竖直的插接条,且插接槽和插接条相匹配。

本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型将永磁体和外壳插接配合,外壳内部的安装片上部设置了阴连接部,永磁体上部设置了阳连接部,使得永磁体和外壳的装配更加方便。

2、本实用新型中,永磁体的内壁为向外突出的曲面,避免电子束和永磁体的边缘碰撞,能够更好地将电子束收束,减轻电子束的散射现象,使得聚焦效果更佳。

综上所述,对比于现有技术,本实用新型将永磁体和外壳插接配合,使得永磁体和外壳的装配更加方便,而且永磁体的内壁为向外突出的曲面,收束效果更好,减轻了电子束的散射现象,使得聚焦效果更佳。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种电子聚焦辅助设备的实施例一结构示意图;

图2为本实用新型提出的一种电子聚焦辅助设备的实施例二结构示意图。

图中:1外壳、2盖体、3连接部、4上电子束通道、5下电子束通道、6安装片、7加强柱、8永磁体、9插接孔、10插块、11屏蔽填料、12插接槽、13插接条。

具体实施方式

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