[实用新型]一种霍尔离子源维持极电压可控装置

说明书

本实用新型涉及电压控制技术领域，具体公开了一种霍尔离子源维持极电压可控装置，所述耦合变压器的输入端与电网输出端电性连接，所述耦合变压器的第一输出端与所述升压模块的输入端电性连接；所述升压模块的第一输出端与所述滤波模块的第一输入端电性连接；所述整流模块的输出端与所述滤波模块的第二输入端电性连接；所述滤波模块的输出端与所述控制模块的第二输入端电性连接；所述控制模块的输出端与所述隔离输出模块的第二输入端电性连接；所述隔离输出模块的输出端与外部维持极电源端电连接。本实用新型解决了现有技术现有电源无法适应霍尔离子源维持极击穿气体后，电源输出不稳定的缺陷，达到稳定霍尔离子源维持极电压输出的目的。

技术领域

本实用新型涉及电压控制技术领域，更具体地说，涉及一种霍尔离子源维持极电压可控装置。

背景技术

霍尔离子源中和器向离子源引出的离子束发射电子，使束电流和束电荷得到中和的离子发射部件。离子源栅极引出的是带正电的离子束。为了避免靶材或加工表面积累电荷，需要中和离子束电流；为了减少离子束中的空间电荷，以继续引出离子，减小羽流扩散角，需要中和离子束电荷。为此，需要在放电室和栅极外边设置中和器，向离子束发射与束电流等量的电子流。传统中和器靠加热灯丝产生自由电子。由于灯丝寿命短，一般只有不到10小时的连续工作间。而使用射频技术驱动的离子源中和器寿命可以大大延长到上1000小时，是一种效率极高的离子源中和器系统。

维持极是霍尔离子源不可或缺一部分，用以维持霍尔离子源的运作。而霍尔离子源维持极属于宽动态负载特性，需要两组不同电压的电源来保证稳定工作，两组电源工作方式、输出时序，现有的电源都无法满足。因此需要设计一种电源来解决以下问题。现有单电源无法适应霍尔离子源维持极所需的负载瞬变供电需求，存在以下问题：气体击穿后负载呈低阻，高压电源处于重载状态此时转换效率非常低，纹波电压高，输出不稳定，长时间持续工作电源容易损坏。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种霍尔离子源维持极电压可控装置，以解决现有技术现有电源无法适应霍尔离子源维持极击穿气体后，电源输出不稳定的缺陷。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种霍尔离子源维持极电压可控装置，包括有耦合变压器、升压模块、整流模块、滤波模块、控制模块以及隔离输出模块；所述耦合变压器的输入端与电网输出端电性连接，所述耦合变压器的第一输出端与所述升压模块的输入端电性连接，用于将电网与升压模块隔离，所述耦合变压器的第二输出端与所述整流模块的输入端电性连接，用于将电网与整流模块隔离；所述升压模块的第一输出端与所述滤波模块的第一输入端电性连接，用于对电压进行整流升压处理，并将整流升压后的电压流经滤波模块进行滤波处理；所述升压模块的第二输出端与隔离输出模块的第一输入端电性连接；所述升压模块的第三输出端与控制模块的第一输入端电性连接，用于对电压进行整流升压处理，并将整流升压后的电压流经控制模块进行电压检测与监控；所述整流模块的输出端与所述滤波模块的第二输入端电性连接，用于对电压进行整流处理，并将整流后的电压流经滤波模块进行滤波处理； 所述滤波模块的输出端与所述控制模块的第二输入端电性连接，用于将滤波后的电压流经控制模块进行电压检测与监控；所述控制模块的输出端与所述隔离输出模块的第二输入端电性连接，用于控制隔离输出模块的输出电压；所述隔离输出模块的输出端与外部维持极电源端电连接，用于为外部维持极提供工作电压并防止电流逆流损坏电路。