[实用新型]可变探针芯片测试底座有效

申请号：	201822131952.3	申请日：	2018-12-19
公开（公告）号：	CN209432867U	公开（公告）日：	2019-09-24
发明（设计）人：	吴泓要;尹彬锋	申请（专利权）人：	上海华力集成电路制造有限公司
主分类号：	G01R1/067	分类号：	G01R1/067
代理公司：	上海浦一知识产权代理有限公司 31211	代理人：	焦天雷
地址：	201315 上海市浦东新区中国（上***	国省代码：	上海;31
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摘要：
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【权利要求书】：

1.一种可变探针芯片测试底座，其特征在于，包括：基部、滑动单元、盖部和探针；

所述基部设有多个第一通孔，所述基部四周设有阻挡件，多个所述滑动单元被所述阻挡件包围固定在基部上，所述滑动单元彼此之间滑动连接，所述盖部盖装在所述滑动单元上，所述盖部上设置有多个第二通孔，所述滑动单元被基部和盖部夹持，所述滑动单元上设有第三通孔，所述探针从第二通孔穿过盖部并穿入第三通孔自第一通孔穿出。

2.如权利要求1所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：所述盖部底面四周设有阻挡件，多个所述滑动单元被所述阻挡件包围固定在基部上。

3.如权利要求1或2所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：所述基部是长方形，所述第一通孔以阵列形式排布在基部上。

4.如权利要求3所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：所述盖部是长方形，所述第二通孔以阵列形式排布在盖部上。

5.如权利要求4所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：所述基部和盖部形状相同面积相等。

6.如权利要求5所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：所述第一通孔、第二通孔和第三通孔数量相同，位置一一对应布置。

7.如权利要求6所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：所述第一通孔和第三通孔是圆孔，所述第二通孔为方孔。

8.如权利要求7所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：在竖直方向上，所述第一通孔和第三通孔位于第二通孔几何中心的正下方。

9.如权利要求8所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：所述第一通孔和第三通孔截面面积大于等于探针截面面积，所述第二通孔截面面积大于等于芯片信号接触点面积。

10.如权利要求1或2所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：至少一侧的阻挡件设有开合装置。

11.如权利要求1或2所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：所述滑动单元是长方形滑动块。

12.如权利要求11所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：所述滑动块边缘至少一侧壁设有凸缘，所述凸缘对侧侧壁设有凹槽，所述滑动块彼此之间通过所述凸缘和凹槽形成滑动固定。

13.如权利要求11所述的可变探针芯片测试底座，其特征在于：所述滑动块边缘两相邻侧壁设有凸缘，另外两相邻侧壁设有凹槽，所述滑动块彼此之间通过所述凸缘和凹槽形成滑动固定。