[实用新型]一种探边器有效
申请号: | 201822131010.5 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN209690352U | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 王胜利;李景均;杨应俊 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/02 | 分类号: | G01R1/02;G01R31/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调节螺杆 行程控制 第一连接部 测试探针 调节滑块 驱动电机 探边器 滑槽 驱动电机输出轴 本实用新型 发光二极管 高精度测试 滑槽内壁 螺接 容纳 | ||
1.一种探边器(100),其特征在于:包括,
第一连接部(21),设置有滑槽(211);
驱动电机(22),与第一连接部(21)连接;驱动电机(22)输出轴连接有调节螺杆(23),所述调节螺杆(23)包括行程控制部(231),所述行程控制部(231)容纳于所述滑槽(211);
调节滑块(24),螺接于行程控制部(231)并止抵于滑槽(211)内壁;所述调节滑块(24)连接有测试探针(30)。
2.根据权利要求1所述的探边器(100),其特征在于:所述探边器(100)还包括,
第一方向调节部(40),连接于第一连接部(21);所述第一方向调节部(40)包括,第一安装部(41)和第二安装部(42),所述第一安装部(41)和第二安装部(42)之间设置有沿第一方向设置的第一导向滑轨(43);第一调整机构(44)一端止抵于第一安装部(41),所述第一调整机构(44)螺旋连接于第二安装部(42),从而通过调节所述第一调整机构(44)实现所述第一安装部(41)相对所述第二安装部(42)沿第一导向滑轨(43)滑动。
3.根据权利要求2所述的探边器(100),其特征在于:所述探边器(100)还包括第三安装部(51),
所述第三安装部(51)与第二安装部(42)通过第二导向滑轨(52)连接;第二调节机构连接于第三安装部(51),所述第二调节机构的一端止抵于第二安装部(42)。
4.根据权利要求1所述的探边器(100),其特征在于:调节滑块(24)连接有位置检测部(25);
所述第一连接部(21)连接有第一限位开关(212)和第二限位开关(213);
所述位置检测部(25)位于第一限位开关(212)和第二限位开关(213)之间。
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