[实用新型]一种半导体生产车间用水槽桌有效
申请号: | 201822084704.8 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN209199885U | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 凌永康;杜良辉 | 申请(专利权)人: | 江苏壹度科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212400 江苏省镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支撑架 半导体生产车间 水槽 起升装置 用水槽 三角块 用品技术领域 本实用新型 支撑架顶部 顶部设置 顶端设置 左侧位置 边缘处 固定座 清洗液 搭接 顶罩 滚轮 溅射 空口 挪动 转轴 车间 | ||
1.一种半导体生产车间用水槽桌,包括支撑架(1)以及位于所述支撑架(1)上方的水槽(3),其特征在于:所述支撑架(1)的前后两端顶部的边缘处均设置有固定座(12),所述支撑架(1)顶端设置有顶板(2),所述顶板(2)顶面的左侧位置处开设有避空口(22),所述水槽(3)搭接于所述顶板(2)的顶面上,所述支撑架(1)的顶部设置有起升装置(5);
所述起升装置(5)包括与所述固定座(12)转动连接的转轴(51)、套接于所述转轴(51)上并与所述转轴(51)固定连接的若干三角块(52)以及安装于所述转轴(51)前端的连杆(53),所述三角块(52)上安装有若干滚轮(522)。
2.根据权利要求1所述的半导体生产车间用水槽桌,其特征在于:所述支撑架(1)的顶端紧密焊接有加强杆(11),所述加强杆(11)为两个长杆紧密焊接而成的十字形结构。
3.根据权利要求1所述的半导体生产车间用水槽桌,其特征在于:所述顶板(2)呈矩形板状结构,所述顶板(2)顶端的四个边缘处均紧密焊接有挡边(21)。
4.根据权利要求1所述的半导体生产车间用水槽桌,其特征在于:所述顶板(2)的顶端设置有顶罩(4),所述顶罩(4)呈长方体空心结构,所述顶罩(4)的左端位置处铰接有一对罩门(41),所述罩门(41)上安装有把手(411),所述顶罩(4)的顶端开设有通孔(42)。
5.根据权利要求1所述的半导体生产车间用水槽桌,其特征在于:所述转轴(51)的末端依次从两个所述固定座(12)中穿过,所述转轴(51)的后端以及靠近所述转轴(51)前端的位置处均套接有挡圈(511),所述挡圈(511)与所述转轴(51)紧密焊接,两个所述挡圈(511)之间的最小距离大于两个所述固定座(12)之间的最大距离。
6.根据权利要求1所述的半导体生产车间用水槽桌,其特征在于:所述三角块(52)与所述转轴(51)紧密焊接,所述三角块(52)的侧端面上开设有安装槽(521),所述滚轮(522)安装于所述安装槽(521)内并与所述安装槽(521)转动连接。
7.根据权利要求1所述的半导体生产车间用水槽桌,其特征在于:所述连杆(53)前端面的边缘处紧密焊接有横杆(531)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造