[实用新型]一种边缘伸展的钛坩埚盖有效

专利信息
申请号: 201822078961.0 申请日: 2018-12-12
公开(公告)号: CN209188816U 公开(公告)日: 2019-08-02
发明(设计)人: 刘志文 申请(专利权)人: 湖畔光电科技(江苏)有限公司
主分类号: B01L3/04 分类号: B01L3/04
代理公司: 北京律远专利代理事务所(普通合伙) 11574 代理人: 全成哲
地址: 213200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 坩埚盖 延伸段 伸展 本实用新型 坩埚 污染材料 向上延伸 周侧边缘 水平向 蒸发源 上端 取放 通孔 节约 延伸
【说明书】:

实用新型公开了一种边缘伸展的钛坩埚盖,包括设置于坩埚瓶身上端的坩埚盖本体,所述坩埚盖本体上设置有通孔,所述坩埚盖本体的上端周侧边缘向上延伸0.7‑1.3cm形成第一延伸段,所述第一延伸段周侧外缘水平向外延伸0.3‑0.7cm形成第二延伸段,所述第一延伸段的厚度和所述第二延伸段的厚度均为0.1‑0.2cm。本实用新型的边缘伸展的钛坩埚盖,方便坩埚从蒸发源中取或放,提高取放效率,节约时间,并且不会污染材料。

技术领域

本实用新型涉及一种边缘伸展的钛坩埚盖。

背景技术

现有蒸发源与坩埚的设计搭配,在坩埚取或放时,需要将手指插入坩埚盖上面的通孔中,这不但不方便,而且会对材料造成污染。

实用新型内容

为了解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种边缘伸展的钛坩埚盖,方便坩埚从蒸发源中取或放,提高取放效率,节约时间,并且不会污染材料。

为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:

一种边缘伸展的钛坩埚盖,包括设置于坩埚瓶身上端的坩埚盖本体,所述坩埚盖本体上设置有通孔,所述坩埚盖本体的上端周侧边缘向上延伸0.7-1.3cm形成第一延伸段,所述第一延伸段周侧外缘水平向外延伸0.3-0.7cm形成第二延伸段,所述第一延伸段的厚度和所述第二延伸段的厚度均为0.1-0.2cm。

进一步的,所述坩埚盖本体与所述第一延伸段和第二延伸段为一体成型结构。

进一步的,所述第一延伸段与所述坩埚盖本体垂直设置。

进一步的,所述第一延伸段的向上延伸高度为1cm。

进一步的,所述第二延伸段的水平延伸0.5cm。

进一步的,所述第一延伸段的厚度和所述第二延伸段的厚度均为0.1cm。

进一步的,所述第一延伸段朝背离所述通孔一侧且朝上倾斜延伸。

进一步的,所述第一延伸段倾斜延伸的垂直高度为0.5-1.1cm。

进一步的,所述第一延伸段倾斜延伸的垂直高度为0.8cm。

与现有技术相比,本实用新型的有益技术效果:

使用未设计之前的坩埚,工程师平均取放时间约30s,而使用新设计的边缘伸展的坩埚盖,工程师平均取放时间约为10s;在取放坩埚的方便性上,效果良好,而且工程师手套上基本没粘有机材料。

附图说明

下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。

图1为本实用新型边缘伸展的钛坩埚盖的结构示意图

附图标记说明:1、坩埚盖本体;2-第一延伸段;3-第二延伸段;4-通孔;5-瓶身。

具体实施方式

实施例1

如图1所示,一种边缘伸展的钛坩埚盖,包括设置于坩埚瓶身5上端的坩埚盖本体1,所述坩埚盖本体1上设置有通孔4,所述坩埚盖本体1的上端周侧边缘向上延伸1cm形成第一延伸段2,所述第一延伸段2周侧外缘水平向外延伸0.5cm形成第二延伸段3,所述第一延伸段2的厚度和所述第二延伸段3的厚度均为0.1cm。

实施例2

所述第一延伸段2朝背离所述通孔4一侧且朝上倾斜延伸。所述第一延伸段2倾斜延伸的垂直高度为0.8cm。

实施例3

所述第一延伸段2朝背离所述通孔4一侧且朝上倾斜延伸。所述第一延伸段2倾斜延伸的垂直高度为1cm。

以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述,并非对本实用新型的范围进行限定,在不脱离本实用新型设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。

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