[实用新型]一种边缘伸展的钛坩埚盖有效
| 申请号： | 201822078961.0 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN209188816U | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 刘志文 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/04 | 分类号： | B01L3/04 |
| 代理公司： | 北京律远专利代理事务所(普通合伙) 11574 | 代理人： | 全成哲 |
| 地址： | 213200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚盖 延伸段 伸展 本实用新型 坩埚 污染材料 向上延伸 周侧边缘 水平向 蒸发源 上端 取放 通孔 节约 延伸 | ||
1.一种边缘伸展的钛坩埚盖，包括设置于坩埚瓶身上端的坩埚盖本体，所述坩埚盖本体上设置有通孔，其特征在于：所述坩埚盖本体的上端周侧边缘向上延伸0.7-1.3cm形成第一延伸段，所述第一延伸段周侧外缘水平向外延伸0.3-0.7cm形成第二延伸段，所述第一延伸段的厚度和所述第二延伸段的厚度均为0.1-0.2cm。
2.根据权利要求1所述的边缘伸展的钛坩埚盖，其特征在于：所述坩埚盖本体与所述第一延伸段和第二延伸段为一体成型结构。
3.根据权利要求1所述的边缘伸展的钛坩埚盖，其特征在于：所述第一延伸段与所述坩埚盖本体垂直设置。
4.根据权利要求1或3所述的边缘伸展的钛坩埚盖，其特征在于：所述第一延伸段的向上延伸高度为1cm。
5.根据权利要求1所述的边缘伸展的钛坩埚盖，其特征在于：所述第二延伸段的水平延伸0.5cm。
6.根据权利要求1所述的边缘伸展的钛坩埚盖，其特征在于：所述第一延伸段的厚度和所述第二延伸段的厚度均为0.1cm。
7.根据权利要求1所述的边缘伸展的钛坩埚盖，其特征在于：所述第一延伸段朝背离所述通孔一侧且朝上倾斜延伸。
8.根据权利要求7所述的边缘伸展的钛坩埚盖，其特征在于：所述第一延伸段倾斜延伸的垂直高度为0.5-1.1cm。
9.根据权利要求8所述的边缘伸展的钛坩埚盖，其特征在于：所述第一延伸段倾斜延伸的垂直高度为0.8cm。
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