[实用新型]尾气处理装置

说明书

一种尾气处理装置，包括：燃烧炉，所述燃烧炉包括顶部、底部以及位于顶部和底部之间的环形侧部，所述燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上设置有若干喷嘴，若干喷嘴喷出火焰对从顶部通入燃烧炉中的尾气进行全包围燃烧。本实用新型的尾气处理装置提高了尾气处理的效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，尤其涉及一种尾气处理装置。

背景技术

尾气处理在半导体制造企业中是一个不可或缺的环保环节，作为大规模、代表先进制造技术的产业，半导体制造企业必须注意到尾气排放将对环境造成的污染、对先进半导体制程所造成的影响，因此，要积极做好尾气排放的处理和控制工作。

对于尾气的处理，现有的尾气处理装置通常采用水洗、氧化/燃烧等方法。

但是现有的尾气处理装置对于尾气的处理效率较低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是怎样防止蝶阀内漏。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种尾气处理装置，包括：燃烧炉，所述燃烧炉包括顶部、底部以及位于顶部和底部之间的环形侧部，所述燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上设置有若干喷嘴，若干喷嘴喷出火焰对从顶部通入燃烧炉中的尾气进行全包围燃烧。

可选的，所述喷嘴的材料为陶瓷，所述燃烧炉的内壁的材料为陶瓷。

可选的，若干喷嘴均匀的分布在燃烧炉的顶部和侧壁的内壁上。

可选的，所述燃烧炉的顶部上设置有若干入口，若干入口分别连接不同设备的尾气排放管道，所述底部上设置有出口，燃烧后的气体通过出口排出。

可选的，所述燃烧炉下方还设置有粉末收集箱，所述粉末收集箱通过一连接管与燃烧炉底部上的出口连通，所述粉末收集箱用于收集燃烧过程中产生的粉末。

可选的，还包括水洗装置，所述水洗装置通过一气体输送管与连接管连通，所述水洗装置用于对燃烧后的气体进行水洗。

可选的，所述水洗装置包括水洗腔、水箱、喷淋头，所述水洗腔与气体输送管连通，燃烧后的气体通过连接管和气体输送管进入水洗腔，所述喷淋头位于水洗腔中，所述喷淋头喷洒水对进入水洗腔中的气体进行水洗，所述水箱位于水洗腔下方与水洗腔连通，所述水箱收集进行水洗后的水。

可选的，所述水洗装置还包括输水装置，用于将水箱中的水输送到喷淋头。

可选的，所述水洗腔还与厂务的排气端连接。

可选的，所述燃烧炉的侧壁中还设置有冷却水管路，所述粉末收集箱与气体输送管之间的连接管上还设置有隔离阀。

与现有技术相比，本实用新型技术方案具有以下优点：

本实用新型的尾气处理装置，包括：燃烧炉，所述燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上设置有若干喷嘴，因而若干喷嘴能对通入燃烧炉内尾气形成包围，使得若干喷嘴喷出的火焰对通入燃烧炉内的尾气能进行全包围的燃烧，因而通入燃烧炉内的尾气能充分完全的燃烧，从而提高了燃烧效率。通过燃烧可以去除尾气中的有机成分、有毒成分，从而防止尾气对环境的污染。

进一步，若干喷嘴均匀的分布在燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上，以进一步提高燃烧的效率。

进一步，所述燃烧炉的顶部上设置有若干入口(图中未示出)，若干入口分别连接不同设备的尾气排放管道，使得尾气处理装置可以对多个设备排放的尾气同时进行处理，节约了尾气处理的成本，提高了尾气处理效率。