[实用新型]一种用于阴极弧光放电的屏蔽装置有效
| 申请号： | 201822034632.6 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209323003U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌;刘俊红;杜昊 | 申请（专利权）人： | 苏州艾钛科纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 薛峰;康正德 |
| 地址： | 215010 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 屏蔽罩 靶材 弧光放电 阴极 屏蔽装置 本实用新型 预定间隙 喇叭口 延伸部 支架 等离子体 电弧离子镀技术 电弧离子镀设备 电弧离子镀 放电过程 运动行程 主体连接 屏蔽 靶面 离化 粒子 环绕 伸出 室内 覆盖 | ||
1.一种用于阴极弧光放电的屏蔽装置，其特征在于，包括：
靶材，其表面用于产生弧光放电；
屏蔽罩，所述屏蔽罩包括喇叭口和屏蔽罩主体；所述屏蔽罩主体环绕封围设置所述靶材的周边，并与所述靶材具有预定间隙，所述喇叭口与所述屏蔽罩主体连接处设有伸出以覆盖部分所述靶材的靶面的延伸部，所述延伸部与所述靶材的靶面间具有预定间隙；
支架，用于将所述屏蔽罩安装至电弧离子镀设备的腔室内，所述屏蔽罩安装于所述支架上。
2.根据权利要求1所述的用于阴极弧光放电的屏蔽装置，其特征在于，所述靶材为圆柱形，所述屏蔽罩主体为与所述靶材相适应的空心圆柱形形状。
3.根据权利要求1所述的用于阴极弧光放电的屏蔽装置，其特征在于，所述靶材为矩形，所述屏蔽罩主体为与所述靶材相适应的空心矩形柱形状。
4.根据权利要求1所述的用于阴极弧光放电的屏蔽装置，其特征在于，所述喇叭口靠近所述靶材的靶面一端的长度/直径小于所述喇叭口远离所述靶材的靶面一端的长度/直径。
5.根据权利要求1所述的用于阴极弧光放电的屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽罩与所述支架卡套式装配。
6.根据权利要求5所述的用于阴极弧光放电的屏蔽装置，其特征在于，所述支架上设置有L形卡槽，所述屏蔽罩主体的外表面设置有与所述L形卡槽相应的凸起。
7.根据权利要求1所述的用于阴极弧光放电的屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽罩与所述支架可拆卸式连接。
8.根据权利要求7所述的用于阴极弧光放电的屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽罩与所述支架通过螺纹/螺栓连接。
9.根据权利要求1所述的用于阴极弧光放电的屏蔽装置，其特征在于，所述预定间隙的为1-5mm。
10.根据权利要求1所述的用于阴极弧光放电的屏蔽装置，其特征在于，所述支架通过带有绝缘套的螺栓紧固安装于电弧离子镀设备的腔室内的阳极座。
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