[实用新型]一种可拆卸式阳极装置

说明书

本实用新型提供了一种可拆卸式阳极装置，涉及电弧离子镀技术领域。其包括：若干个锥形阳极和阳极板主体；所述阳极板主体为平板状形状，所述阳极板主体的周侧设置有翻边；所述锥形阳极为固定连接在所述阳极板主体上的具有锥面的空心圆柱，所述锥形阳极的一端与所述阳极板主体连接，所述锥形阳极的另一端与电弧离子镀设备的腔室内的阳极筒紧固连接。本实用新型提供了提供一种可拆卸式阳极装置，以接收弧光放电中的电子，可以方便地对其进行拆卸，以便于对阳极的维护保养。

技术领域

本实用新型涉及电弧离子镀技术领域，特别是涉及一种可拆卸式阳极装置。

背景技术

多弧离子镀膜技术是在真空条件下，通过控制电弧在靶材表面移动，来蒸发靶材金属，并在基片上施加一个高偏压，使得电弧蒸发出来的靶材粒子高速轰击在基片上，形成薄膜的过程。由于靶材表面上的电弧是一个低电压、大电流的直流电源来供给，所以本身只能维持电弧不能自发产生电弧，产生电弧的时候需要单独的引弧结构。阳极的作用主要是接收弧光放电中的电子，沉积过程中沉积的涂层会在阳极表面沉积一些导电性差的材料，甚至造成阳极完全不导电，阳极缺失会造成放电稳定性差、局部阳极过热灼烧，更甚者造成部分阳极部件的毁灭性毁坏。因而对于阳极的维护保养是一个很重要的工作。

目前的多弧离子镀设备中通常直接将多弧离子镀设备的腔室内壁作为一个整体式的阳极，以用于接收弧光放电中的电子，其存在阳极缺失的风险及维护保养困难的问题。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是要提供一种可拆卸式阳极装置，以接收弧光放电中的电子，可以方便地对其进行拆卸，以便于对阳极的维护保养。

本实用新型的另一个目的是要提供一种可拆卸式阳极装置，减少了电子的运动行程，提高弧光放电时的放电稳定性。

特别地，本实用新型提供了一种可拆卸式阳极装置，包括：若干个锥形阳极和阳极板主体；所述阳极板主体为平板状形状，所述阳极板主体的周侧设置有翻边；所述锥形阳极为固定连接在所述阳极板主体上的具有锥面的空心圆柱，所述锥形阳极的一端与所述阳极板主体连接，所述锥形阳极的另一端与电弧离子镀设备的腔室内的阳极筒紧固连接。

可选地，所述阳极板主体上设置有若干个固定孔。

可选地，所述若干个锥形阳极均匀间隔设置。

可选地，所述阳极板主体为长方形。

可选地，所述阳极筒内安装有用于阴极弧光放电的靶材和屏蔽罩；所述屏蔽罩包括喇叭口和屏蔽罩主体；所述屏蔽罩主体环绕封围设置所述靶材的周边，并与所述靶材具有预定间隙，所述喇叭口与所述屏蔽罩主体连接处设有伸出以覆盖部分所述靶材的靶面的延伸部，所述延伸部与所述靶材的靶面间具有预定间隙。

可选地，所述锥面与所述喇叭口的内表面平行。

可选地，所述锥形阳极与所述阳极板主体连接的一端的内径大于所述锥形阳极与电弧离子镀设备的腔室内的阳极筒连接的另一端的内径。

可选地，所述翻边为远离所述电弧离子镀设备的腔室内壁的方向。

可选地，所述锥形阳极的另一端与电弧离子镀设备的腔室内的阳极筒之间为可拆卸式连接，所述所述锥形阳极的另一端与电弧离子镀设备的腔室内的阳极筒间为电接触。

本实用新型提供的一种可拆卸式阳极装置，其包括若干个锥形阳极和阳极板主体；所述阳极板主体为平板状形状，所述阳极板主体的周侧设置有翻边；所述锥形阳极为固定连接在所述阳极板主体上的具有锥面的空心圆柱，所述锥形阳极的一端与所述阳极板主体连接，所述锥形阳极的另一端与电弧离子镀设备的腔室内的阳极筒紧固连接。从而使得阳极装置能够快速拆卸，且电子一部分沉积在锥形阳极的锥面，一部分沉积在阳极板主体上，减少了电子的运动行程，有效地增大了阳极的有效面积，利于提高弧光放电时的放电的稳定性。