[实用新型]一种可拆卸式阳极装置

权利要求书

1.一种可拆卸式阳极装置，其特征在于，包括：若干个锥形阳极和阳极板主体；所述阳极板主体为平板状形状，所述阳极板主体的周侧设置有翻边；所述锥形阳极为固定连接在所述阳极板主体上的具有锥面的空心圆柱，所述锥形阳极的一端与所述阳极板主体连接，所述锥形阳极的另一端与电弧离子镀设备的腔室内的阳极筒紧固连接。

2.根据权利要求1所述的可拆卸式阳极装置，其特征在于，所述阳极板主体上设置有若干个固定孔。

3.根据权利要求1所述的可拆卸式阳极装置，其特征在于，所述若干个锥形阳极均匀间隔设置。

4.根据权利要求1所述的可拆卸式阳极装置，其特征在于，所述阳极板主体为长方形。

5.根据权利要求1所述的可拆卸式阳极装置，其特征在于，所述阳极筒内安装有用于阴极弧光放电的靶材和屏蔽罩；所述屏蔽罩包括喇叭口和屏蔽罩主体；所述屏蔽罩主体环绕封围设置所述靶材的周边，并与所述靶材具有预定间隙，所述喇叭口与所述屏蔽罩主体连接处设有伸出以覆盖部分所述靶材的靶面的延伸部，所述延伸部与所述靶材的靶面间具有预定间隙。

6.根据权利要求5所述的可拆卸式阳极装置，其特征在于，所述锥面与所述喇叭口的内表面平行。

7.根据权利要求5所述的可拆卸式阳极装置，其特征在于，所述锥形阳极与所述阳极板主体连接的一端的内径大于所述锥形阳极与电弧离子镀设备的腔室内的阳极筒连接的另一端的内径。

8.根据权利要求1所述的可拆卸式阳极装置，其特征在于，所述翻边为远离所述电弧离子镀设备的腔室内壁的方向。

9.根据权利要求1所述的可拆卸式阳极装置，其特征在于，所述锥形阳极的另一端与电弧离子镀设备的腔室内的阳极筒之间为可拆卸式连接，所述锥形阳极的另一端与电弧离子镀设备的腔室内的阳极筒间为电接触。